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旋片式真空泵
工作原理是利用旋片在泵腔内旋转,将气体吸入并排出。具有体积小、重量轻、噪音低、启动快等优点。
适用于对真空度要求较高、抽气速率相对较小的场合,如实验室、电子工业中的真空镀膜、真空干燥等。但不适用于抽除含大量水蒸气或腐蚀性气体的场合。
往复式真空泵
通过活塞在气缸内的往复运动来抽气,结构简单,维修方便,能够获得较高的真空度。
常用于抽气量较大且对真空度要求较高的场合,如真空冶炼、真空蒸馏等。不过,其运行速度较慢,体积较大,且振动和噪音相对较大。
水环式真空泵
利用叶轮旋转形成水环,通过水环与叶轮之间容积的变化来抽气。可以抽除含有大量水蒸气和少量粉尘的气体,工作过程中气体不会被油污染,具有结构简单、运行稳定、操作维护方便等特点。
广泛应用于化工、制药、造纸、食品等行业,尤其适用于需要在较高真空度下处理含有水蒸气的气体的场合,如真空蒸发、真空结晶等。但它的效率相对较低,能耗较高。
罗茨真空泵
由两个同步旋转的罗茨转子组成,通过转子间的间隙来输送气体,具有抽气速率大、启动快、能在较低压力下工作等优点。
通常用于高真空系统中,作为前级泵与其他真空泵配合使用,以提高系统的抽气速度和极限真空度,如在电子束焊、真空镀膜等领域应用广泛。但它不能单独在大气压下工作,需要与前级泵串联使用。
螺杆式真空泵
利用一对螺杆在泵腔内的旋转来实现抽气,具有抽速大、真空度高、对被抽气体中的灰尘和水蒸气不敏感等优点,且运行平稳,噪音低,维护成本低。
适用于对真空度要求较高、对气体品质要求较严格的场合,如半导体制造、制药、化工等行业的真空工艺过程。尤其在处理含有一定量粉尘或水蒸气的气体时,具有明显的优势
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