MIRUC日本米拉克光学XY 轴 滑动作 燕尾台的工作原理

MIRUC日本米拉克光学的XY轴滑动燕尾台是一款在精密机械领域备受推崇的高精度定位平台。它巧妙地将经典的燕尾榫结构与精密的传动系统和抗振动设计相结合，实现了微米甚至纳米级的运动控制，广泛应用于半导体、光学检测等工业领域。

为了让你快速建立整体印象，下面的表格概括了其核心组成部分与功能。

🔩 核心结构与工作原理

燕尾台的精髓在于其燕尾榫结构。它通过一个突出成梯形的燕尾榫与一个凹陷成梯形的燕尾槽相互嵌合。这种独特的楔形面接触设计，能够有效限制运动自由度，确保滑动部件只能沿预设的X轴或Y轴方向平稳移动。

在传动方面，平台的核心是齿条-小齿轮机构。操作者转动手柄时，会驱动小齿轮旋转，小齿轮再与固定在滑动部件上的齿条啮合，从而将旋转运动精准地转换为线性移动。为了追求的运动精度，米拉克通过预紧力技术消除了齿轮啮合时固有的微小间隙（即"背隙"或"空回误差"），这确保了平台在正向和反向运动时都具有高的一致性，双向重复定位精度可达±0.5μm。

对于更高阶的应用，部分型号还采用了交叉滚柱导轨。与传统滚珠的点接触不同，淬火处理的滚柱与导轨是线接触，这大大增加了接触面积，从而提供了更高的刚性和导向精度，并能承载更大的负载。

🎯 精度保障与进阶功能

为了实现超精密定位，米拉克燕尾台引入了一系列先进技术：

• 动态精度控制：通过预紧力消除齿轮间隙，确保双向运动的一致性，有效避免了运动中的卡滞现象。

• 闭环反馈系统（可选）：在一些对精度有严苛要求的型号上，可以集成线性编码器。它能实时监测平台的实际位置，并将数据反馈给控制系统，与目标位置进行比较和实时校正。这套系统让平台的分辨率达到了惊人的10纳米级别。

• 多轴协同与抗振动设计：独特的并联结构（如XYR平台）采用三电机分别驱动两组X轴和一组Y轴，通过算法协调，能同步实现XY平面内的平移和旋转（θz轴）运动。此外，在螺栓固定处使用粘弹性材料有效吸收振动和冲击，防止螺钉松动，保证了长期使用的稳定性。

🛠️ 典型应用场景

凭借其高精度和稳定性，MIRUC米拉克XY轴驱动平台广泛应用于以下领域：

• 工业显微镜：作为样品台，实现观察点的快速、精准定位。

• 光学检测与半导体：在PCB曝光机、晶圆切割等设备中执行微米级的对位操作。

• 自动化集成：通过加装步进电机或线性磁轴电机模组，可升级为高速电动平台，用于自动化扫描检测等工序。

💎 选型与使用建议

在选择和使用MIRUC米拉克燕尾台时，可以关注以下几点：

• 明确需求：根据实际应用确定所需的行程、精度、负载以及控制方式（手动或电动）。

• 关注型号：米拉克提供丰富的型号，如XJK系列（单轴）、XYJK系列（双轴） 等，可根据需要进行模块化组合。

• 利用特性：平台的夹紧杆位置可自由调整，增强了固定力，适应不同操作需求。

• 升级选项：米拉克还提供可将手动平台便捷升级为电动平台的技术单元，大幅提升了设备的灵活性和自动化潜力。