日本HORIBA堀场电阻率计：超纯水测量的精密守护者

在半导体制造、制药等领域，一滴水中的细微杂质都可能带来巨大损失

在制造业和科研领域，超纯水的质量直接关系到产品的性能和良率。作为水质监测领域的企业，日本HORIBA堀场推出的系列电阻率计，凭借其精密测量性能和的稳定性，成为半导体、制药、电子等行业超纯水监测的理想选择。

技术原理：精确测量背后的科学

HORIBA电阻率计采用双电极法进行测量，通过连接专门的电阻率传感器（ERF系列），精确测量水样中的电阻率和温度参数。

这些设备的核心优势在于其高精度的温度补偿功能。由于水的电阻率随温度变化极为敏感，HORIBA电阻率计使用铂电阻温度计（Pt 1000Ω）作为温度补偿元件，能够根据超纯水的温度特性，自动将测量值补偿到参考温度（通常为25℃）下的电阻率值。

更值得一提的是，用户可以自由设置温度补偿的标准温度值，满足特定条件的测量需求，如测量温热去离子水等特殊应用场景。

产品系列：满足多样化需求

HORIBA提供了多种型号的电阻率计，以适应不同的安装环境和使用需求。以下是其主要产品系列：

HE-480R：面板安装型四线制传输

HE-480R是一款面板安装型电阻率计，采用四线制传输方式，提供高精度温度补偿功能。

• 测量范围：电阻率覆盖0-100.0 MΩ・cm，温度测量范围0-100℃

• 主要特点：小巧的体积，高的超纯水测量精度，以及先进的温度补偿算法

• 适用场景：半导体、电子、食品和制药行业的UPW（超纯水）连续监测

HE-300R：现场安装型二线制传输

HE-300R是专为现场安装设计的电阻率计，采用二线制传输，适合恶劣工业环境。

• 坚固设计：工作温度范围-20~60℃，防护等级IP65，符合CE标记和FCC规则

• 智能功能：同时显示液体温度，具备自诊断功能，可即时检测传感器错误

• 电源特性：采用24V DC供电，功耗仅0.6W或更低，节能高效

HE-960RW：双通道高性能型号

HE-960RW是一款面板安装型双通道电阻率计，支持同时测量两个点位的水质参数。

• 双通道设计：可连接两个传感器同时测量，实现高性能、高精度和总体成本降低

• 通信能力：配备RS-485通信功能，便于系统集成

• 性能：在15°C~35°C水温范围内，能将18 MΩ·cm电阻率范围内的测量值波动控制在最小0.02 MΩ·cm范围内

GC-96RW：超纯水专用双通道电阻率计

GC-96RW是专为超纯水测量设计的双通道电阻率计，可连接两种不同检测单元常数的传感器。

• 灵活性：同时支持检测单元常数0.1/cm和0.01/cm的传感器

• 应用覆盖：既可连接超纯水设备中使用的钛检测单元，也可连接清洗装置中使用的碳检测单元

• 高精度温度测量：具备可输入铂测量电阻元件偏差功能，不必进行温度校正就能获得±0.2℃以内的温度测量精度

技术优势：精准可靠的测量保障

HORIBA电阻率计在超纯水测量领域展现出多项技术优势：

1. 高精度测量与稳定性

HORIBA电阻率计具有的测量重复性和线性度。以HE-480R为例，其重复性和线性均达到≤±0.5%F.S.（等效输入），确保长期测量的可靠性。

HE-960RW更进一步，将重复性提高至≤±0.1%F.S.，能够检测极微小的水质变化。

2. 灵活的输出与报警功能

这些电阻率计提供多种输出选项和报警功能，便于系统集成和过程控制。

HE-480R提供1点4~20mA DC传输输出和2点触点输出，可用于上下限控制、故障警报和维护操作。

HE-960RW则提供2点4~20mA DC输出和4个独立的触点报警，满足更复杂的监控需求。

3. 先进的自我诊断功能

HORIBA电阻率计内置自诊断系统，能够实时监测设备状态，及时发现传感器故障、温度传感器短路和断线等问题。

这一功能大大减少了意外停机时间，提高了系统的整体可靠性。

4. 环境友好设计

所有HORIBA电阻率计均采用无铅焊接工艺，符合RoHS指令，减少了对环境的影响。

应用领域：关键行业的守护者

HORIBA电阻率计在多个关键行业发挥着重要作用：

半导体制造业

在半导体制造过程中，超纯水的质量直接影响芯片的良率和性能。HORIBA电阻率计能够连续监测UPW水质，确保清洗工艺的效果。

制药行业

制药工艺用水对水质有严格要求。HORIBA电阻率计提供的高精度测量，确保制药用水符合相关药典标准。

食品与饮料行业

食品饮料生产过程中，水质是影响产品安全的重要因素。HORIBA电阻率计帮助生产企业监控水质纯度，保障产品安全。

电力与能源行业

发电厂特别是核电站的水质控制对设备安全和效率至关重要。HORIBA电阻率计为这些行业提供了可靠的水质监测方案。

创新与发展：面向未来的技术演进

随着工业4.0和物联网技术的快速发展，HORIBA电阻率计正朝着更高智能化、更强集成能力的方向发展：

• 通信能力增强：新型号如HE-960RW已配备RS-485通信功能，支持更便捷的系统集成和数据传输

• 多参数监测：趋势表明，电阻率计正从单一参数测量向多参数集成监测发展，满足复杂工艺的监控需求

• 远程监控与维护：借助物联网技术，HORIBA电阻率计逐步实现远程监控和维护功能，降低运营成本

总结

日本HORIBA堀场电阻率计凭借其精密测量能力、可靠稳定性和广泛适应性，已成为超纯水监测领域的产品。

无论是半导体行业的纯度要求，还是制药食品行业的品质管控需求，HORIBA都能提供量身定制的解决方案。

随着工业技术不断发展，对水质测量的要求将愈发严格，HORIBA电阻率计将继续在水质监测领域发挥关键作用，为各行业提供可靠、精确的测量保障。