在精密制造与科研领域,真空环境的纯净度与稳定性直接决定工艺成果,大阪真空低噪音螺杆干泵以其创新的技术与的性能,重新定义了清洁真空的标准。
在半导体制造、生物医药和科研实验等领域,传统油封式真空泵带来的污染问题一直困扰着行业。油蒸气返流、设备维护频繁且运行成本高昂,限制了精密工艺的进一步发展。
大阪真空机器制作所推出的DSP系列低噪音螺杆干泵,采用无油设计与螺杆技术,不仅解决了污染难题,更以低噪音、低振动的特性为洁净环境设立了。
大阪真空低噪音螺杆干泵代表了真空获取技术的重大进步。这类干式真空泵能从大气压力下开始抽气,并将被抽气体直接排到大气中。
泵腔内无油或其他工作介质,同时泵的极限压力与油封式真空泵同等量级甚至更优。
DSP系列包括DSP251、DSP501等型号,继承了原有DSP系列小型轻巧、便于搬动的特点,同时优化了内部结构,提供更稳定、更值得信赖的性能。
该系列产品专门为研究开发、镀膜、医疗等领域设计,满足了这些行业对超高真空环境和无污染排气的严格要求。
大阪真空低噪音螺杆干泵的核心技术在于其精密的螺杆设计。这种干式螺杆真空泵利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用。
精密啮合的螺杆转子经过精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中。螺杆与螺杆之间保持精确的间隙,泵工作时相互之间无直接接触摩擦,从而实现了平稳运行与低噪音。
独特的工作流程使气体在泵内经历吸气、传输和排气的过程。随着转子的旋转,每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环,气体被连续地从进气口推向排气口。
与传统的油封式真空泵相比,这种设计无需在工作腔使用润滑油,避免了油蒸气对真空系统和工艺过程的污染,实现了真正的清洁真空。
大阪真空DSP系列采用螺杆型转子设计,有效防止排气脉冲,大幅降低了运行时的振动和噪音。
转子组件省略了同步齿轮的设置,实现了无噪音排气。泵体还配备了专业隔音罩,进一步降低了运行噪音,为实验室和洁净车间提供了安静的工作环境。
DSP系列干泵实现了无油的真空环境,没有油蒸气或粒子的逆流问题。这一特性对于半导体制造、生物医药等对清洁度要求高的领域至关重要。
工作腔内无任何介质,可获得清洁真空,避免了传统真空泵可能带来的污染问题。
大阪真空DSP系列采用省电设计,能耗显著低于传统真空泵。空冷规格的设计使其仅需电力即可运行,无需额外的冷却水系统,大大简化了安装和使用要求。
内置的旁通系统使泵在大气压附近具有更快的排气速度,提高了工作效率。
由于转子组件无直接接触和摩擦,DSP系列实现了免维修运行,无需更换轴封及润滑油。
标准配置的气镇功能能有效避免水蒸气在真空泵中凝结,延长了泵的使用寿命。
大阪真空DSP系列干泵符合国际规格,包括CE、SEMI、NRTL标准,确保了范围内的兼容性和可靠性。
以类似规格的螺杆干泵为例,这类泵的极限真空度可达1Pa以下,抽气速率覆盖多种应用需求。
具体到不同型号,例如NeoDry7G抽气速率为110L/min,而NeoDry36G可达600L/min,满足从实验室到工业生产的各种需求。
低噪音性能是其突出特点,一些在极限压力下的噪音值可控制在45-51分贝,远低于传统工业设备。
在半导体制造过程中,DSP系列干泵为镀膜、刻蚀和负载锁定室等工艺提供可靠的真空环境。
其洁净排气的特性防止了油蒸气对晶圆的污染,显著提高了产品良率和性能。
制药行业的真空干燥、冷冻干燥和生物制品制备过程中,DSP干泵确保了无污染的生产环境。
对于药品生产质量管理规范要求严格的制药企业,这种无油设计避免了产品污染风险,符合行业监管要求。
在科研领域,DSP干泵广泛应用于分析仪器、实验装置和科研设备中,为科学研究提供可靠的真空条件。
工业领域的真空热处理、化工工艺和材料处理等应用也大量采用这种清洁、低噪音的干泵解决方案。
2019年8月,大阪真空机器制作所正式发布了新型空冷式干式真空泵DSP NEW SERIES,包括DSP251、DSP501等型号。
新型DSP系列在保留原有产品小型轻巧、便于搬动、低震动、低噪音、节能环保等优点的基础上,进一步优化了内部结构,提供了更稳定的性能。
这一系列产品实现了真正的免维修,为用户提供了更可靠、更经济的解决方案。
新系列产品进一步强化了节能特性和洁净排气能力,内置旁通系统在大气压附近提供了更快的排气速度,满足了制造业对效率和性能的更高要求。
大阪真空DSP系列干泵设计紧凑,支持壁式安装或柱式安装,适应不同空间限制。
启动前需检查电源电压,确认转向正确。在无负载情况下运转泵20-30分钟,检查是否有不正常的震动和温升。
操作过程中需监控轴承温度、润滑剂状况和冷却系统,确保泵在正常条件下运行。
通过观察电流表指示,可以及时发现异常情况。若出现转子碰撞或摩擦,应立即停机检查。
虽然DSP系列设计为免维修,但仍需定期检查。若抽除腐蚀性气体,在关机前应清理泵内部,避免残留物腐蚀泵体。
使用高质量润滑油对于轴承和齿轮的寿命至关重要,应选择具有抑制氧化、防锈、低饱和蒸汽压特性的产品。
大阪真空低噪音螺杆干泵通过其创新的无油设计和精密螺杆技术,成功解决了传统真空泵在精密制造与科研领域的应用瓶颈。
随着半导体、生物医药等产业对清洁真空需求的不断增长,这种低噪音、无污染、高效节能的干式真空泵将成为更多行业,推动技术创新与产业升级向前迈进。