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大阪真空低噪音螺杆干泵:清洁真空环境的革命者

更新时间:2025-11-27      点击次数:19

在精密制造与科研领域,真空环境的纯净度与稳定性直接决定工艺成果,大阪真空低噪音螺杆干泵以其创新的技术与的性能,重新定义了清洁真空的标准。

在半导体制造、生物医药和科研实验等领域,传统油封式真空泵带来的污染问题一直困扰着行业。油蒸气返流、设备维护频繁且运行成本高昂,限制了精密工艺的进一步发展。

大阪真空机器制作所推出的DSP系列低噪音螺杆干泵,采用无油设计螺杆技术,不仅解决了污染难题,更以低噪音、低振动的特性为洁净环境设立了。


01 产品概述:重新定义清洁真空标准

大阪真空低噪音螺杆干泵代表了真空获取技术的重大进步。这类干式真空泵能从大气压力下开始抽气,并将被抽气体直接排到大气中。

泵腔内无油或其他工作介质,同时泵的极限压力与油封式真空泵同等量级甚至更优。

DSP系列包括DSP251、DSP501等型号,继承了原有DSP系列小型轻巧、便于搬动的特点,同时优化了内部结构,提供更稳定、更值得信赖的性能。

该系列产品专门为研究开发、镀膜、医疗等领域设计,满足了这些行业对超高真空环境无污染排气的严格要求。

02 工作原理:螺杆创新的核心技术

大阪真空低噪音螺杆干泵的核心技术在于其精密的螺杆设计。这种干式螺杆真空泵利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用。

精密啮合的螺杆转子经过精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中。螺杆与螺杆之间保持精确的间隙,泵工作时相互之间无直接接触摩擦,从而实现了平稳运行低噪音

独特的工作流程使气体在泵内经历吸气、传输和排气的过程。随着转子的旋转,每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环,气体被连续地从进气口推向排气口。

与传统的油封式真空泵相比,这种设计无需在工作腔使用润滑油,避免了油蒸气对真空系统和工艺过程的污染,实现了真正的清洁真空。

03 性能特点:技术优势的综合体现

低噪音与低振动

大阪真空DSP系列采用螺杆型转子设计,有效防止排气脉冲,大幅降低了运行时的振动和噪音。

转子组件省略了同步齿轮的设置,实现了无噪音排气。泵体还配备了专业隔音罩,进一步降低了运行噪音,为实验室和洁净车间提供了安静的工作环境。

洁净排气与无污染

DSP系列干泵实现了无油的真空环境,没有油蒸气或粒子的逆流问题。这一特性对于半导体制造、生物医药等对清洁度要求高的领域至关重要。

工作腔内无任何介质,可获得清洁真空,避免了传统真空泵可能带来的污染问题

高效节能与便捷性

大阪真空DSP系列采用省电设计,能耗显著低于传统真空泵。空冷规格的设计使其仅需电力即可运行,无需额外的冷却水系统,大大简化了安装和使用要求。

内置的旁通系统使泵在大气压附近具有更快的排气速度,提高了工作效率。

维护简单与长寿命

由于转子组件无直接接触和摩擦,DSP系列实现了免维修运行,无需更换轴封及润滑油。

标准配置的气镇功能能有效避免水蒸气在真空泵中凝结,延长了泵的使用寿命。

04 技术规格:精准运行的参数保障

大阪真空DSP系列干泵符合国际规格,包括CE、SEMI、NRTL标准,确保了范围内的兼容性和可靠性。

以类似规格的螺杆干泵为例,这类泵的极限真空度可达1Pa以下,抽气速率覆盖多种应用需求。

具体到不同型号,例如NeoDry7G抽气速率为110L/min,而NeoDry36G可达600L/min,满足从实验室到工业生产的各种需求。

低噪音性能是其突出特点,一些在极限压力下的噪音值可控制在45-51分贝,远低于传统工业设备。

05 应用领域:多行业的关键解决方案

半导体与电子产业

在半导体制造过程中,DSP系列干泵为镀膜刻蚀负载锁定室等工艺提供可靠的真空环境。

其洁净排气的特性防止了油蒸气对晶圆的污染,显著提高了产品良率和性能。

医药与生物技术

制药行业的真空干燥冷冻干燥生物制品制备过程中,DSP干泵确保了无污染的生产环境。

对于药品生产质量管理规范要求严格的制药企业,这种无油设计避免了产品污染风险,符合行业监管要求。

科研与工业领域

在科研领域,DSP干泵广泛应用于分析仪器实验装置科研设备中,为科学研究提供可靠的真空条件。

工业领域的真空热处理化工工艺材料处理等应用也大量采用这种清洁、低噪音的干泵解决方案。

06 创新进展:DSP NEW SERIES的技术突破

2019年8月,大阪真空机器制作所正式发布了新型空冷式干式真空泵DSP NEW SERIES,包括DSP251、DSP501等型号。

新型DSP系列在保留原有产品小型轻巧、便于搬动、低震动、低噪音、节能环保等优点的基础上,进一步优化了内部结构,提供了更稳定的性能。

这一系列产品实现了真正的免维修,为用户提供了更可靠、更经济的解决方案。

新系列产品进一步强化了节能特性洁净排气能力,内置旁通系统在大气压附近提供了更快的排气速度,满足了制造业对效率和性能的更高要求。

07 操作与维护:简便高效的使用体验

安装与启动

大阪真空DSP系列干泵设计紧凑,支持壁式安装或柱式安装,适应不同空间限制。

启动前需检查电源电压,确认转向正确。在无负载情况下运转泵20-30分钟,检查是否有不正常的震动和温升。

日常操作

操作过程中需监控轴承温度润滑剂状况冷却系统,确保泵在正常条件下运行。

通过观察电流表指示,可以及时发现异常情况。若出现转子碰撞或摩擦,应立即停机检查。

维护要点

虽然DSP系列设计为免维修,但仍需定期检查。若抽除腐蚀性气体,在关机前应清理泵内部,避免残留物腐蚀泵体。

使用高质量润滑油对于轴承和齿轮的寿命至关重要,应选择具有抑制氧化、防锈、低饱和蒸汽压特性的产品。


大阪真空低噪音螺杆干泵通过其创新的无油设计和精密螺杆技术,成功解决了传统真空泵在精密制造与科研领域的应用瓶颈。

随着半导体、生物医药等产业对清洁真空需求的不断增长,这种低噪音、无污染、高效节能的干式真空泵将成为更多行业,推动技术创新与产业升级向前迈进。


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