ULVAC爱发科机械增压泵：驱动制造的超真空“心脏”

在一座现代半导体晶圆厂内，洁净的真空腔室中正进行着纳米级的精密镀膜，维持这一关键工艺所需稳定真空环境的，正是一套庞大而静默运行的ULVAC PMB系列机械增压泵系统。

在制造业的真空世界里，从大气压到真空的旅程充满挑战。当传统的前级泵在中真空区域的抽气效率开始衰减，一种被称为“真空增强器"的设备便成为关键——这就是机械增压泵（Roots Pump）。

日本ULVAC爱发科的PMB系列大型机械增压泵，正是这一领域，它以无油、大抽速和的可靠性，为半导体、冶金、化工等产业的核心真空工艺提供了澎湃动力。

01 技术定位：中高真空领域的流量放大器

机械增压泵本身并不能独立工作，它必须与前级泵（如油回转泵、干式泵）串联。其核心作用是，在前级泵有效工作的压力范围内（通常约1Pa至1000Pa），通过一对高速、反向旋转的转子，对气体进行等容输送和压缩，从而将前级泵的排气能力放大数十倍甚至上百倍。

ULVAC爱发科的PMB系列正是基于这一原理，专为抽取大型真空室或处理大量气体而设计。其“无油"特性——泵腔内没有任何润滑油——带来了革命性的优势：它能够从容应对水蒸气、溶剂蒸气等可凝性气体，而无需担心油污污染被抽容器或泵本身因油乳化而性能下降，确保了工艺的洁净与稳定。

02 核心技术：无油设计与结构创新

PMB系列的技术精髓，首先体现在其洁净的无油泵腔设计。这直接解决了工业应用中常见的蒸气处理难题，拓宽了设备在化工、食品、制药等多样领域的应用边界。

其次是创新的结构布局。该系列泵允许用户选择排气方向，这一设计显著提高了设备集成时的灵活性，使得整套真空系统布局可以更加紧凑，节省宝贵的厂房空间。

为了将强大的抽气能力与系统可靠性结合，ULVAC采用了经典的 “摇摆活塞式油回转真空泵"作为其标准辅助泵（前级泵） 。这种组合构建了一个从大气压到中高真空的、坚固且高效的排气解决方案。

03 性能解析：PMB系列的产品矩阵与极限参数

ULVAC PMB系列提供了不同抽速的型号，以满足从大型真空炉到巨型镀膜设备的不同需求。其中，PMB-040C和PMB-060C是两款代表性产品。

为了直观对比，下表列出了这两款核心型号的关键性能参数：

除了上述硬性指标，PMB系列还展现了出色的工程细节。例如，其可驱动压力低至8.0×10⁻² Pa，意味着它能在高的真空环境下依然被可靠启动和运行。同时，所有型号均使用ULVOIL R-72专用油来润滑独立的齿轮和轴承箱，并通过精密的密封结构确保油绝不会渗入洁净的泵腔，实现了“干湿分离"。

04 应用场景：赋能制造的广泛需求

正是凭借其大抽速、耐蒸汽和高可靠性的特点，ULVAC机械增压泵系统在多个工业支柱领域成为标配。

在金属热处理与冶金行业，大型真空钎焊炉、烧结炉的快速排气离不开它。在汽车工业中，用于制造高强度轻量化部件的真空压铸技术也依赖于这种泵组提供的稳定环境。

在化学与制药领域，其无油特性使其成为真空蒸馏、溶剂回收和大型冻干机的理想选择。此外，在食品工业的真空包装和脱水工艺中，它也能确保生产过程的洁净与高效。

值得一提的是，ULVAC也将机械增压泵技术集成到更小巧的单元中。例如VMR-050小型高真空排气单元，它内置机械增压泵和辅助泵，实现了“一键启动，从大气压直抽至高真空"的便捷操作，特别适合研发实验室和小型生产线使用。

05 总结与展望：超真空的基石

从庞大的PMB系列工业泵到紧凑的VMR实验单元，ULVAC爱发科的机械增压泵技术始终围绕着一个核心目标：在宽广的压力范围内，提供洁净、可靠且高效的真空解决方案。

它或许不是真空线上最闪亮的主角，但无疑是确保整个系统高效、稳定运行的核心动力引擎。随着制造业向更精密、更清洁的方向持续发展，对这类高性能基础真空装备的需求将与日俱增。ULVAC通过其深厚的技术积累和对工业需求的深刻理解，正在持续巩固其作为超真空领域基石的关键地位。