在工业过程控制、环境监测与科研领域,氧浓度的精确测量是保障安全、优化工艺与保证质量的关键环节。相较于传统的顺磁法等技术,氧化锆固体电解质技术因其响应快速、测量精准、稳定性高等特点,已成为中高温氧含量在线分析的行业主流。作为该领域,日本TORAY(东丽)公司依托其独特的材料科技与精密制造工艺,推出了一系列高性能的氧化锆氧气浓度计,覆盖了从科研实验到严苛工业场景的广泛需求。
氧化锆传感器的核心在于一块特殊的陶瓷材料——掺入氧化钇或氧化钙稳定的二氧化锆(ZrO₂)。在高温(通常为650℃以上)条件下,这种陶瓷变为对氧离子(O²⁻) 的良好导体。
传感器结构如同一个微型电池:致密的氧化锆管两侧涂覆有多孔铂(Pt)电极,一侧通入已知氧浓度的参比气体(通常为空气,氧浓度20.6%),另一侧接触待测气体。当两侧氧分压不同时,氧离子会从高浓度侧穿过氧化锆电解质向低浓度侧迁移,从而在两侧电极间产生一个与氧浓度差相关的电动势,即浓差电势。
该电势遵循能斯特(Nernst)方程:
E = (RT / 4F) * ln(P_air / P_sample)
其中,E为输出电势,R为气体常数,T为温度,F为法拉第常数,P_air和P_sample分别为空气与被测气体的氧分压。通过精确控温并测量电势E,即可精确计算出待测气体中的氧浓度。
TORAY的技术优势不仅在于对基础原理的应用,更在于其对传感器核心部件的材料科学与微观结构的深度把控。
有的小型化与强化处理技术:TORAY掌握了制造超小型、高稳定性氧化锆传感器的核心技术。通过对氧化锆元件进行特殊的物理与化学处理,显著提升了其机械强度与对复杂工况的耐受性,从而实现了更长的使用寿命和更高的可靠性。
宽量程与高精度性能:基于高性能的传感器,TORAY的分析仪单机即可实现从十亿分之一(ppb)级别到100%氧气浓度的宽范围测量,无缝覆盖痕量分析至高浓度监测的全场景。其重复性在1%量程以上可达±1% 以内,保证了数据的高可信度。
智能化的系统集成设计:产品内置自动校准与自动刷新功能,可有效应对传感器在长期使用中的潜在漂移,实现“免维护"运行。同时,紧凑的机械结构使其易于集成到各类生产线与实验装置中。
TORAY针对不同应用场景,提供了多样化的产品型号。下表梳理了其三个代表性系列的关键特性:
| 特性维度 | LC-850K/KS/KD系列 (高性能通用型) | RF-400系列 (制程集成专用型) | LC-450A系列 (紧凑设备集成型) |
|---|---|---|---|
| 核心定位 | 研究实验、高性能在线分析 | 氮气回流炉、烧结炉等电子行业制程 | 半导体、液晶制造设备集成 |
| 测量量程 | 0-1000ppb ~ 100 vol% (最宽) | 0-1ppm ~ 100 vol% | 低浓度 ~ 100 vol% (宽范围) |
| 关键特点 | 多量程覆盖、通信功能丰富(RS-232C)、数据管理能力强 | 针对N₂环境优化、内置传感器保护机构、耐久性高 | 结构超紧凑、超小型传感器、易于嵌入设备 |
| 采样方式 | 连续抽吸式(内置泵) | 连续抽吸式 | 未明确,通常为抽吸或扩散式 |
| 电源 | AC100V | AC100-240V (宽电压适配) | 宽交流电源 |
| 典型应用 | 实验室研发、空分纯度检测、环保在线监测 | 半导体封装、SMT回流焊、气氛烧结炉 | 液晶面板制造、精密仪器内部气氛监控 |
正确的选型是发挥仪器效能的关键,需要根据具体的应用场景、气体条件和性能要求来决定。
科研实验与高精度检测:
场景:高校、研究所的化学反应研究,气体纯度标定,环境痕量氧分析。
挑战:要求量程极宽、精度高、稳定性好,且可能需要频繁切换量程或连接电脑记录数据。
选型建议:LC-850系列。其从ppb到100%的宽量程和出色的重复性满足科研的苛刻要求,丰富的通信接口(RS-232C)便于与实验室数据系统集成。
电子制造与气氛工业炉:
场景:半导体芯片封装、液晶面板制造的氮气回流炉、烧结炉,以及金属热处理工业炉。
挑战:需要直接集成到设备内部,长期在高纯氮气背景下监测极低的残氧浓度(ppm级),环境可能含有微量腐蚀性杂质。
选型建议:RF-400系列是专为此类场景开发。其增强的传感器保护机制提升了耐用性,宽电压设计便于部署,是产线集成的理想选择。对于空间极度受限的设备集成,可考虑更紧凑的LC-450A系列。
工业燃烧优化与安全监测:
场景:电厂锅炉、陶瓷窑炉、垃圾焚烧厂的烟气氧含量测量,以及化工管道、地下管廊的缺氧安全预警。
挑战:烟气高温、高粉尘,环境恶劣;需要快速响应以实时控制燃烧;输出信号需接入DCS或PLC系统。
选型建议:此领域多为直插式氧化锆探头结构。虽然搜索结果未明确TORAY对应型号,但其核心技术原理相同。选型时应重点关注探头的耐温等级、防尘过滤器设计以及变送器的防爆等级(如Ex d IIC T6) 和输出信号(4-20mA/RS485)。
为确保氧化锆氧气浓度计长期稳定运行,需注意以下几点:
气样预处理:确保待测气体清洁、干燥、无腐蚀性成分,避免水滴、油雾、硅烷及可燃气体直接进入传感器,否则会导致传感器中毒、损坏或测量失准。
定期校准:虽然氧化锆传感器稳定性高,但仍建议定期使用标准气体进行校准,以维持测量精度。
参比气保证:使用空气作参比气时,需保证其洁净干燥且流通畅通,否则参比侧氧分压变化将直接导致测量误差。
注意预热:仪器通电后需要约20分钟的预热时间,待传感器达到稳定的工作温度后,测量数据方为准确。
TORAY东丽的氧化锆氧气浓度计,凭借其在固态电解质材料与微型传感器结构上的深厚技术积淀,成功地将能斯特原理转化为一系列稳定、精准、可靠的工业产品。无论是追求极限精度的科研前沿,还是要求持久稳定的工业现场,选择合适的TORAY分析仪,都能为您的氧含量测量提供坚实的技术保障。在智能化与精细化制造的时代,这样一款“感知氧气"的精密工具,无疑是优化工艺、提升品质、保障安全的核心钥匙。