TG70F：以小型化与方位耐振设计，重塑移动与紧凑空间下的高真空获取逻辑

在半导体封装产线的机械臂末端，一个精密的真空吸盘必须即时产生并维持稳定的抓取力，任何体积庞大或惧振动的传统真空源都无法在此处立足。同样，在一台奔赴野外现场进行环境采样的移动质谱仪内部，其核心离子源需要洁净的高真空环境，但旅途的颠簸却足以让精密涡轮停转。这些矛盾场景，直指传统涡轮分子泵在应用上的核心痛点：对安装角度敏感、惧怕振动冲击、系统集成笨重。日本大阪真空（Osaka Vacuum）推出的TG70F小型耐振动涡轮分子泵，正是为破解这些矛盾而生。它并非追求极限抽速的巨型泵，而是一款通过脂润滑陶瓷轴承技术、独特的紧凑型结构及主动破控制动，将高性能分子泵的可靠工作域，从固定的实验室拓展至移动平台与紧凑设备内部的革命性高真空核心部件。

一、核心定位：为动态与受限空间设计的集成化高真空引擎

TG70F的核心设计哲学清晰而坚定：让高性能涡轮分子泵摆脱对稳定安装基座与宽松空间的依赖，使其能像标准电子元器件一样，被集成到任何角度、可能处于运动状态的设备之中。

传统涡轮分子泵因其高速旋转的精密转子（通常数万RPM），对振动极为敏感，必须牢固安装在稳定基座上，且对安装角度有严格要求。TG70F通过全系列创新设计，了这一范式：

• 动态耐受性：其“耐振动，可移动正在运转的真空泵"的特性，使其能够直接搭载于机械臂、移动检测车、旋翼无人机载荷等运动部位，或在运输工具内部持续工作，为动态过程提供实时真空。

• 空间自由度：支持 “360度任意角度安装"。无论是水平、垂直、倒置，还是随着设备姿态任意倾斜，TG70F均可正常启动并稳定运行，为设备结构设计提供了自由。

• 系统轻量化：通过优化，其本体重量控制在3公斤（ISO法兰）至5公斤（CF法兰），结合其“辅助泵可以使用隔膜泵"的设计，使得整个前级真空系统得以小型化和轻量化，大幅降低了集成门槛和成本。

二、核心技术特点：实现耐振与紧凑的三大支柱

1. 脂润滑陶瓷轴承与刚性转子设计：振动的终结
TG70F实现耐振能力的核心，在于其轴承系统与转子动力学的革命。它采用长寿命脂润滑的陶瓷球轴承。陶瓷材料（如氮化硅）相比传统钢轴承，具有更低的密度、更高的硬度、优异的耐磨性和热稳定性，能有效抑制高速下由振动引起的微动磨损，并降低启停过程中的扭矩峰值。
同时，转子和轴系经过精密动平衡，并采用高刚性设计，使整个旋转系统具有高的固有频率，能有效抵御外部宽频振动干扰，避免共振，从而确保在复杂工况下的运行平稳性与长寿命。

2. 一体/分体式灵活供电与智能破控：快速启停的保障
TG70F提供TC75（泵与控制器一体型）和TC76（分离型）两种控制器选项。一体型设计大程度节省空间，便于直接集成；分离型则适用于控制器需集中布置的场合。控制器采用高效的DC 24V输入，大功耗仅120W，节能且易于配备备用电池。
其“使用破控功能可迅速停止"是一项关键安全与效率设计。在需要紧急停止或设备移动前，控制器可反向施加电流，使高速转子在极短时间内制动，相比自然停转（约需5-6.5分钟）大幅缩短了等待时间，提升了设备的响应速度和操作安全性。

3. 针对轻气体的高压缩比与稳定排气
除了机械结构的创新，TG70F在核心抽气性能上也有针对性突破。其对于氢气（H₂）的大压缩比高达1×10⁵。这一指标意味着它在处理氢气、氦气等轻质气体时，能有效防止其从排气侧反向扩散回高真空侧，从而在需要极限真空或存在大量轻气体的工艺（如某些半导体工艺、氢离子源）中，能更快获得并维持更低的压力。同时，其“在高倍压的情况下也可以连续运转，排气性能安定"，展现了良好的过载耐受性与工艺适应性。

三、核心性能参数与应用定位

下表清晰列出了TG70F的核心技术规格，并将其与同等性能级别的传统涡轮分子泵进行概念化对比，以凸显其设计优势：

四、典型应用场景：拓展真空技术的边界

TG70F的独特性能，使其在多个前沿领域成为不可替代的选择：

1. 移动与便携式分析仪器：作为车载、机载、船载质谱仪、激光诱导击穿光谱仪的核心真空部件，确保仪器在运输与现场颠簸中仍能获得并保持分析所需的洁净高真空。

2. 工业自动化与机器人：集成于半导体/面板搬运机械臂的真空末端执行器、真空吸附平台，提供稳定、快速响应的真空源，实现精密元件的无损抓取与定位。

3. 紧凑型科研与工业设备：用于桌面型电子显微镜、小型镀膜设备、离子注入模块等空间受限的设备内部，为其核心工艺腔室直接提供高真空。

4. 特殊环境研究装置：在加速器束线、空间环境模拟舱的可动部件、核聚变研究装置的某些模块中，需要在有限空间和复杂力学环境下维持局部高真空。

5. 高制造与表面处理：适用于FPD制造、电子枪排气、光学器件镀膜等工艺中需要灵活布局真空泵站的环节。

结语：重新定义高真空的获取方式

大阪真空TG70F小型耐振动涡轮分子泵，通过脂润滑陶瓷轴承技术、方位的安装适应性、针对轻气体的高压缩比以及灵活高效的电源控制方案，成功地将涡轮分子泵从一个需要被小心伺候的“精密仪器"，转变为一个可以无缝嵌入现代精密设备动力系统的“高真空引擎模块"。

它代表的不仅是技术的进步，更是应用理念的革新：高真空的获取可以更柔性、更动态、更贴近工艺点本身。在自动化、移动化、集成化日益成为高制造与前沿科研核心特征的今天，TG70F这样的设备正以其独特的价值，悄然拓展着真空技术的应用边界，成为驱动下一代精密设备创新的关键使能部件。