爱发科DAP-6D二段式隔膜型干泵：为精密设备量身打造的微型洁净真空核心

在1.9kg轻巧机身内实现6L/min稳定抽速与干式无油运行，以两级排气设计和50年技术积淀，定义小型设备内置真空泵的行业

在半导体自动化、医疗仪器、实验室分析和光学设备等众多前沿领域，真空环境往往是实现精密操作的核心前提。然而，面对日益紧凑的设备空间、对洁净度的严苛要求以及连续稳定运行的可靠性需求，传统的油封式真空泵因体积庞大和油雾污染而难以适用，而大型干泵又因成本和尺寸无法嵌入小型设备。如何在有限的安装空间内，获得一台兼具洁净无油、稳定可靠和易于集成的微型真空源，始终是设备工程师面临的核心挑战。

针对这一需求，日本ULVAC（爱发科）推出的DAP-6D二段式隔膜型干泵，以其手掌级的紧凑尺寸、干式无油的洁净设计和60年真空技术积淀，成为众多精密设备制造商的内置真空解决方案。

产品定位：为设备内置而生的微型干式真空泵

DAP-6D隶属于爱发科DAP系列隔膜型干泵，是该系列中最小型的膜片泵之一。其设计理念源于对设备集成需求的深刻洞察：在半导体封测设备、医疗分析仪器、自动化产线等场景中，真空源往往需要嵌入有限空间，同时必须保证不对核心工艺产生任何污染。DAP-6D以91mm（宽）×163mm（长）×100.6mm（高）的紧凑尺寸和1.9kg的轻巧重量，契合了这一需求。

作为一款标准型干式真空泵，DAP-6D专注于提供大气压至低真空区间的稳定抽气能力，在50Hz下有效排气速度为6L/min，极限压力可达6.65×10³ Pa（约-94.7 kPa表压）。这一性能区间精准覆盖了真空吸附、样品搬运、快速脱气等绝大多数设备内置场景的需求。

核心技术原理：隔膜往复运动与两级排气设计

DAP-6D的核心技术在于将经典的隔膜泵原理与两级排气结构融合。

泵体通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。当电机驱动偏心轮旋转时，带动膜片上下往复运动：吸气行程中膜片向下运动，泵腔容积增大形成负压，吸入气体；排气行程中膜片向上运动，压缩气体并通过排气阀排出。这一过程在无油环境下完成，气体接触区域不使用任何润滑油，从根本上杜绝了油蒸汽对真空系统和环境的污染。

二段式（两级）排气系统是DAP-6D区别于单级泵的技术亮点。两个泵室串联工作，一级排出的气体进入第二级进一步压缩，从而获得比单级泵更低的极限压力（更高的真空度）。这种设计使DAP-6D在保持微型尺寸的同时，实现了媲美大型泵的真空性能。

六大核心技术特性

1. 干式无油：真正洁净的真空环境

DAP-6D的气体接触部位不使用油，这意味着它能提供真正洁净的真空环境，不会污染被处理的样品、产品或真空腔室。对于半导体晶圆搬运、医疗器械、分析仪器等对洁净度要求高的场合，这一特性使其成为不可替代的选择。

2. 两级排气：微型机身中的高性能表现

与单级排气系统相比，两级结构显著提升了极限真空度。实测数据显示，DAP-6D的极限压力可达6.65×10³ Pa，在50Hz下抽速为6L/min，60Hz下可达7L/min。这一性能足以满足绝大多数低真空应用的需求。

3. 大气压下连续运行：无需预抽的即用体验

DAP-6D明确支持在大气压下直接启动并连续运行，适用于大气压至低真空区间的各类场合。这一特性使其在真空吸附、包装机械等需要频繁启停且直接暴露于大气的应用中表现出色。

4. 内置自动复位热保护器：全天候安全运行

电机内置自动复位型热保护器，在过热时自动切断电源，待温度恢复正常后自动重启。这一安全设计使设备可长期连续运行而无需人工干预，极大提升了系统的可靠性和安全性。

5. 紧凑：手掌级的集成便利性

整机尺寸仅91×163×100.6mm，重量1.9kg，可轻松嵌入各类小型设备。无论是半导体检测设备的内部空间，还是医疗仪器的有限腔体，DAP-6D都能找到合适的安放位置。

6. 结构简单，维护方便

无油设计和简洁的机械结构，使DAP-6D的维护工作降至低。无需定期更换油品、无需处理油雾过滤器，大大降低了设备的全生命周期使用成本。

完整技术规格

注：极限压力括号内为真空计显示值。

典型应用场景

DAP-6D凭借其干式无油、紧凑轻量、稳定可靠的特点，在众多领域成为设备内置真空源的：

使用注意事项与维护建议

为确保DAP-6D长期稳定运行，用户需注意以下事项：

使用禁忌

• 禁止吸入：腐蚀性气体、有机溶剂、液体、可凝性气体（如水蒸气）

• 禁止进入：灰尘、污垢、颗粒物

• 环境限制：室内使用，避免雨淋或潮湿场所

操作注意事项

• 重启要求：如果在负荷运行中停止泵，可能无法立即重启。此时需将泵内部恢复至大气压后再启动

• 安装注意：由于基础部件组合公差，M3/M4螺钉位置可能存在微小变化，建议将安装孔加工为长孔

• 电源注意：200V/230V规格的电机，电源线不配中间开关

产品生态与选型参考

DAP-6D是爱发科DAP系列隔膜型干泵的基础型号，该系列覆盖6L/min至12L/min的抽速范围，用户可根据具体需求选择。对于需要更高抽速的应用，可考虑DAP-9D、DAP-12S等型号；对于需要单相100V以外电压的应用，DAP-6D提供200V/220-230V可选规格。

结语

日本爱发科DAP-6D二段式隔膜型干泵，以其手掌级的紧凑尺寸、干式无油的洁净设计、两级排气的优异性能和五十年市场验证的可靠性，成为众多精密设备制造商信赖的真空核心。它不仅仅是一个微型真空泵，更是连接设备功能需求与物理实现之间的关键技术桥梁。

从晶圆搬运的精准吸附，到医疗仪器的无菌操作；从自动包装的高效运行，到分析仪器的稳定采样——DAP-6D以其低调而可靠的存在，默默支撑着现代精密设备的每一次真空操作。在设备日益向小型化、智能化、高洁净度发展的趋势下，爱发科DAP-6D所代表的微型干泵技术，将继续为制造业的创新升级提供源源不断的真空动力。

关于ULVAC（爱发科）
日本ULVAC（爱发科）是的真空技术综合制造商，拥有超过70年的技术积淀。从微型隔膜泵到大型真空镀膜设备，ULVAC始终致力于为工业企业和科研机构提供高精度、高可靠性的真空技术与解决方案，推动半导体、显示面板、新能源和生命科学等领域的持续创新与发展。