在真空技术领域,从大气压到高真空的宽范围压力测量一直是工业与科研应用中的核心需求。日本佐藤真空(SATOVAC)推出的CR-1N潘宁真空计,凭借其冷阴极放电原理、无灯丝烧毁风险的坚固设计以及模拟式直观操作,为各类真空设备提供了一款可靠耐用的测量工具。
CR-1N是佐藤真空“SATOVAC"系列中的台式潘宁真空计(冷阴极电离真空计),采用模拟显示方式,专为中高真空区域的稳定测量而设计。该产品以结构简单、坚固耐用著称,适用于工业和研究领域的各类真空设备。
其核心技术参数如下:
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量范围 | 8×10⁻¹ ~ 1×10⁻³ Pa(单量程) |
| 压力单位 | Pa(帕斯卡) |
| 测量元件 | D-31M型,φ15 mm规口安装 |
| 记录仪输出 | 满量程10 mV |
| 电源电压 | AC100V 50/60Hz |
| 功耗 | 9 VA |
| 外形尺寸 | W185 × D185 × H120 mm |
| 重量 | 2.9 kg |
CR-1N采用冷阴极放电(Penning放电) 原理进行真空测量。与热阴极电离真空计不同,冷阴极真空计不需要加热灯丝来产生电子,而是利用磁场中的气体放电现象。
其工作原理是:在测量元件内,电子在正交电磁场作用下沿螺旋路径运动,与气体分子碰撞产生电离。离子电流的大小与气体压力成正比,通过测量离子电流即可确定真空度。
这一原理带来显著优势:即使在大气压下开启设备,也不会发生灯丝烧毁的问题,大大增强了设备的耐受性和可靠性。
传统热阴极电离真空计依赖高温灯丝发射电子,在意外暴露于大气压或高压气体时,灯丝极易氧化烧毁。CR-1N采用冷阴极放电技术,消除了这一风险,用户无需担心操作失误导致传感器损坏。
CR-1N配备D-31M型测量元件,其磁铁采用特殊合金材料,实现了以下特性:
紧凑轻量:整体结构小巧,便于安装
可清洗设计:测量元件在受污染后可进行清洗维护,延长使用寿命
结构简单:无易损灯丝部件,故障率低
作为一款模拟型真空计,CR-1N采用传统的指针式显示方式,具有以下特点:
操作直观:无需复杂菜单设置,旋钮调节简单明了
状态一目了然:指针摆动直观反映压力变化趋势
坚固可靠:无数字显示屏易损问题,适合工业环境
设备配备满量程10 mV的记录仪输出,可连接外部记录设备或数据采集系统,实现真空度数据的长期记录与监控。
佐藤真空提供丰富的真空计产品线,以满足不同测量范围和精度需求:
| 产品系列 | 型号 | 测量范围 | 显示方式 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| 潘宁真空计 | CR-1N | 8×10⁻¹~1×10⁻³ Pa | 模拟 | 中高真空通用测量 |
| 冷阴极离子计 | CR-D8A | 5.0×10⁻¹~1×10⁻⁶ Pa | 数字 | 更高真空度要求 |
| 皮拉尼真空计 | PG-D5A | 1×10⁵~1.3×10⁻¹ Pa | 数字 | 低真空至中真空 |
| 皮拉尼真空计 | PG-2BM | 2×10³~2×10⁻¹ Pa | 模拟 | 传统模拟需求 |
| 电离真空计 | IG-D7A | 9.9×10⁻²~1×10⁻⁷ Pa | 数字 | 高真空至超高真空 |
用户可根据具体的测量范围、精度要求和操作习惯选择最合适的机型。
CR-1N凭借其坚固耐用的特点,广泛应用于以下领域:
真空镀膜设备:监控镀膜过程中的真空度变化
电子束焊接:确保焊接腔体的真空环境
真空热处理炉:实时监测炉内压力
半导体制造设备:溅射、蒸发等工艺的真空监控
科研实验装置:表面分析仪、质谱仪、电子显微镜等
冷冻干燥设备:监测干燥过程中的真空状态
测量元件D-31M采用φ15 mm规口安装,需确保接口密封良好
设备应放置于平稳台面,避免震动影响测量精度
清洁周期:根据使用环境和气体类型,定期检查测量元件污染情况
清洗方法:测量元件可拆卸清洗,恢复性能
环境要求:吸入气体温度10~40°C,环境湿度75%以下
处理腐蚀性气体、可燃气体、粉末或水蒸气时需提前咨询
频繁暴露于大气压与真空交替状态时需注意维护
佐藤真空(SATOVAC)是日本佐藤工业株式会社的真空产品品牌,拥有丰富的真空计产品线,从大气压(101 kPa)到高真空(1×10⁻⁷ Pa)均有覆盖。产品涵盖数字型和模拟型,用户可根据规格、环境和使用便利性选择最合适的机型。
作为真空技术领域的专业制造商,佐藤真空的产品在半导体、电子、食品工业及科研领域得到广泛应用。
日本佐藤PHIL CR-1N潘宁真空计将冷阴极放电的可靠性、模拟操作的简便性以及坚固耐用的结构设计融为一体,为中高真空区域的测量提供了一款值得信赖的工具。无论是工业真空设备的日常监控,还是科研实验中的真空度测量,CR-1N都能以其无灯丝烧毁风险的优势和稳定的测量性能,成为真空系统长期运行的可靠保障。