UV-351 日本ORC 紫外线照度计/能量计技术参数

ORC（株式会社オーク製作所）UV-351 是一款受光部与本体一体化设计的手持式紫外线照度/光量计，与 UV 曝光装置及 UV 传送带配套使用，用于照度与光量的现场管理。以下为核心技术参数。

一、型号与传感器对应关系

UV-351 系列包含三个型号，分别对应不同的传感器标准，以适应不同的工艺数据兼容性需求：

ORC 同时提供 SD 型与 SN 型两种规格。SD 型面向半导体与液晶基板制造现场，强调与主流照度计的数据互换性；SN 型则用于延续既有 ORC 曝光装置用户的工艺数据连续性，其指示值较 SD 型高约 39%（以 365nm 辉线为基准）。

二、波长与测量范围

部分资料将光谱范围标注为 320～390 nm，这是不同来源对同一传感器特性曲线截取区间的表述差异，核心测量区间一致。使用附属滤光片可依据实际测定对象进一步扩展适用范围。

三、精度指标

两项精度指标均以 ORC 社内 UV 标准器为基准，对准精度反映与标准器之间的一致性，重复性精度反映同一条件下的测量再现能力。

四、测量模式

UV-351 支持三种测量模式，覆盖 UV 工艺管理中从瞬时状态到累计剂量的完整需求：

• 照度测量：测定紫外线的实时辐照度（mW/cm²）。

• 光量测量：测定紫外线累计能量（mJ/cm²），适用于曝光剂量管理。

• 峰值照度测量：捕捉测量过程中照度的最大值。

仪器可同时测定照度、积算光量与温度。

五、物理与环境规格

受光部与本体一体化，无需连接线缆，使其在空间受限的 UV 曝光机内部或传送带狭缝等传统探头式照度计难以触及的位置具备测量可行性。180g 的整机质量与薄型设计支持单手手持操作。金属机身的工作温度上限为 60℃，适应 UV 照射环境下的热负荷。

六、接口与数据功能

UV-351 内置 RS-232C 通信接口与模拟输出功能，可将测量数据输出至外部记录设备或上位控制系统，便于工艺数据的追溯与存档。

结语

UV-351 的技术定位不在于追求量程或亚毫秒级响应，而在于将一体式薄型结构、金属耐热机身与 ±1.5% 级精度整合进一台 180g 的手持设备中，解决 UV 曝光装置和传送带现场“测得到、测得准、测得稳"的实际问题。对于需要在产线旁快速确认 UV 剂量状态、或对受限空间内的紫外照度进行抽查的场景，它提供了一套可直接部署的测量方案。