全国服务咨询热线:

0755-26803456

当前位置:首页  >  产品中心  >  ULVAC爱发科  >  蚀刻设备  >  NE-5700/NE-7800日本ULVAC爱发科半导体干法刻蚀设备

日本ULVAC爱发科半导体干法刻蚀设备
简要描述:

日本ULVAC爱发科NE-5700/NE-7800半导体干法刻蚀设备
日本ULVAC爱发科半导体干法刻蚀设备

  • 产品型号:NE-5700/NE-7800
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-11-25
  • 访  问  量:59

详细介绍

日本ULVAC爱发科半导体干法刻蚀设备

日本ULVAC爱发科半导体干法刻蚀设备



批量生产的干法刻蚀设备NE-5700/NE-7800

适合量产的NE-5700/NE-7800干法刻蚀设备是一款可扩展的刻蚀设备,支持从一个腔室到多个腔室,强调性价比。


特征

  • 除1个腔体外,还可配备磁场ICP(ISM)、NLD等离子体源、灰化腔体、CCP腔体,兼容多种刻蚀工艺。

  • 配备星形电极和各种温度控制功能,可实现过程的再现性和稳定性。

  • 易于维护的结构,停机时间最短,全面的备份系统,包括再生清洁、零件供应、维护和培训服务。

  • 半导体技术研究院提供完善的工艺支持系统。

目的

  • 化合物(LED、LD、高频器件)和功率器件(IGBT 布线加工、SiC 加工)。

  • 用于金属布线、层间绝缘膜(树脂类)、栅电极加工工序。

  • 用于蚀刻铁电材料和贵金属。

  • 用于加工磁性材料。

特别提示:商品详情页中(含主图)以文字或者图片形式标注的抢购价等价格可能是在特定活动时段下的价格,商品的具体价格以订单结算页价格为准或者是您与商家联系后协商达成的实际成交价格为准;如您发现活动商品价格或活动信息有异常,建议购买前先咨询商家。


具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发生变化,也可能随着购买数量不同或所选规格不同而发生变化,如用户与商家线下达成协议,以线下协议的结算价格为准,如用户在上完成线上购买,则最终以订单结算页价格为准。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

全国统一服务电话

19270095986

电子邮箱:209023083@qq.com

公司地址:龙华街道龙华大道906号电商集团7层

扫码加微信