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日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
简要描述:

日本进口ULVAC爱发科UR421-T/UR600/UR1200多级罗茨干式真空泵
日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

  • 产品型号:UR421-T/UR600/UR1200
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-11-25
  • 访  问  量:79

详细介绍

日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵

日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵


通过在高温范围内均匀加热泵体,
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。

特征


  • 可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。
    UR系列可以达到比HR系列更高的温度。


  • 配备氦气密闭电机,密封结构,安全性高

  • 瞬时停电对策:
    实施1000msec以内的瞬时停电对策。

  • 优异的耐腐蚀性
    主要部件采用特殊表面处理,表面硬度高,耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时,减少泵内部的腐蚀。

  • 通讯功能:
    可以读取与泵运行状态和警告/报警历史相关的数据。通过使用专用软件并与计算机通信,可以进行集中监控。

目的

  • 化学气相沉积设备

  • 蚀刻设备

  • 灰化装置

  • 酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

规格

模型UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵数据恢复计划
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
MBP-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大抽速  410 立方米/小时
(6833 升/分钟)
653 立方米/小时
(10883 升/分钟)
1012 立方米/小时
(16867 升/分钟)
1701 立方米/小时
(28350 升/分钟)
2700立方米/小时
(45000升/分钟)
极限压力
5.0帕
最大入口压力
(吸入压力)
大气压*1
最大排气口压力
(排出压力)
1~大气压Pa
进气口(CE规格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)

VG150

排气口VG50
西北40
西北50
大量的415公斤370公斤403公斤553公斤720公斤
电力三相180-240VAC/
380-440VAC
(50/60Hz)
200VAC(50/60Hz) /220VAC(60Hz)180-240VAC/
380-440VAC
(50/60Hz)
当前值稳定状态23A(200V 时)16.4A(200V 时)18.9A(200V 时)29.2A(200V 时)
20.5A(400V 时)
39.8 A(200V 时)
20.5 A(400V 时)
最大值52.5A(200V 时)17.3A(200V 时)22.4A(200V 时)34.9 A(200V 时)
40.5 A(400V 时)
68.3 A(200V 时)
40.5 A(400V 时)
冷却水暂压0.2~0.5兆帕0.1~0.3兆帕0.2~0.5兆帕
冷却水进出水压差>0.2兆帕>0.1兆帕>0.1兆帕>0.1兆帕>0.2兆帕
冷却水流量>5.0升/分钟
吹扫气体一次压力0.1~0.5兆帕
二次压力0.05~0.1兆帕
氮气吹扫5 可持续发展管理
加斯巴拉0~195 SLM0~45SLM0~195 SLM0~195 SLM

*1 请勿在吸入压力为 200Pa 或更高的情况下连续运行 UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT。
*对于规格表中未列出的UR系列的订单,请单独检查。




■驾驶模式

驾驶方式123
氮气流量可持续发展管理055~50 *1

订购时请注明驱动方式。 (UR系列的标准设定:3)
*1 UR421-T、UR3601-TT的N2流量为5~200SLM。


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