日本HOBIBA堀场进口全新晶圆背面冷却系统

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GR-300 系列

晶圆背面冷却系统

GR-300 系列可以控制用于冷却由静电吸盘系统固定到位的晶圆背面的气体。

GR-300 的稳定性和准确性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择

• 压力控制更稳定、更准确

• 质量流量传感器 （可选）

• 适用于各种配件

• 符合 RoHS 标准

应用示例

在下面的示例中，GR-300 系列控制用于冷却由静电吸盘系统固定到位的晶圆背面的气体。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

WATSON深江化成、TORAY东丽

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川

SEKONIC世光、ADVANTEC东洋等