日本ULVAC爱发科罗茨泵密闭式电机：真空工艺的核心技术

在半导体和液晶制造的无尘世界中，一粒微尘就可能造成数百万的损失，而ULVAC爱发科的密闭式电机罗茨泵正是这些产业的守护者。

在现代科技产业中，真空技术是半导体、液晶制造、精密化工等领域的核心支撑。罗茨泵，作为中真空范围的关键设备，其性能直接关系到整个真空系统的效率和稳定性。

日本ULVAC爱发科作为真空技术的企业，其采用密闭式电机设计的罗茨泵，凭借独特的技术优势和的可靠性，在制造领域占据了重要地位。

01 创新原理：密闭式电机的技术突破

ULVAC爱发科罗茨泵采用的密闭式电机，实质上是一种屏蔽电机技术，通过封闭的设计实现了革命性的突破。

传统真空泵的电机通常通过轴封与真空环境隔离，但这些机械密封件长期使用后难免会出现磨损，导致润滑油泄漏，污染真空环境和工艺产品。

ULVAC的密闭式电机设计解决了这一行业痛点。它通过采用屏蔽电机，消除了空气/真空机械密封，使得电机与泵腔之间隔离。 这种设计可以在清洁的环境中使用，不用担心漏油问题。

密闭式电机的核心技术在于其特殊的绝缘和冷却系统。电机内部线圈采用专门的绝缘材料，能够抵抗油蒸汽和化学气体的侵蚀，确保在苛刻环境下的长期稳定运行。

与普通电机相比，这种设计还显著降低了故障风险和维护需求，为连续生产工艺提供了可靠保障。

02 产品系列：全面满足多样化需求

ULVAC爱发科罗茨泵拥有多个产品系列，每个系列都针对特定的应用场景和需求而设计，展现了其技术的全面性和适应性。

PRC系列是ULVAC的明星产品，专为对清洁度要求特别高的半导体和液晶制造工艺而设计。 该系列包括PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A和PRC-018A等多种型号，大抽速从280立方米/小时到1500立方米/小时不等。

PRC系列采用屏蔽式三相异步电动机，功率从0.75千瓦到5.5千瓦不等，全部采用水冷冷却方式，确保了高效散热和稳定运行。

PMB系列则是ULVAC的通用型罗茨泵，具有更广泛的适用性。 该系列可以选择表面处理或大气压驱动型，甚至可以在空冷下运转，提供了更大的灵活性。

PMB系列采用阳极氧化铝表面处理，具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性，可有效防止泵内部划伤和腐蚀。

NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合设计的，其特点是腔体内没有润滑油，即使面对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。

该系列选用比标准电机容量大一级的电机，实现在高吸入压强下的运转。

03 性能特点：技术优势解析

ULVAC爱发科密闭式电机罗茨泵具有多项性能优势，使其在工业应用中表现。

无油设计是ULVAC罗茨泵的核心优势之一。 由于泵壳室内没有润滑油，即使面对水蒸气、溶剂等蒸汽也能发挥稳定的性能。 这一特性使得ULVAC泵在化工、镀膜等对油污染敏感的应用中尤为重要。

耐腐蚀性是另一大亮点。 主要部件均采用阳极氧化铝处理，表面硬度高，耐腐蚀性能优异，可防止泵内部划伤和腐蚀。 也可以根据实际需要选择不进行表面处理的型号。

大气压驱动能力通过安装变频器实现，可以在整个压力范围内运行，大幅缩短排气时间。 由于可与低真空泵同时启动，与标准型相比，能有效缩短排气时间。

ULVAC罗茨泵还采用封闭式电机设计，特别是PRC系列，通过采用屏蔽电机，消除了大气/真空的机械密封，用户可以在干净的环境中使用，不用担心漏油问题。

灵活的配置选项满足了不同应用场景的需求。PRC系列提供标准型、X型和F型等多种型号，分别适用于普通气体排气、想抑制水分吸附对极限压力影响的环境，以及腐蚀性气体、可燃气体和氧化性气体等苛刻条件。

04 应用领域：广泛工业场景的真空解决方案

ULVAC爱发科密闭式电机罗茨泵凭借其性能，在多个工业领域找到了用武之地。

在半导体和液晶显示器制造过程中，ULVAC的PRC系列罗茨泵发挥着不可替代的作用。 其无油蒸汽特性防止了产品污染，封闭式电机设计确保了生产环境的洁净度。

真空镀膜应用，包括气相沉积、溅射和离子镀等工艺，都离不开ULVAC罗茨泵的支持。 在这些过程中，罗茨泵协助创造并维持所需的高真空环境，确保镀膜质量均匀一致。

在化工和制药行业，ULVAC罗茨泵同样广泛应用，特别是在真空干燥、冷冻干燥和真空脱气等工艺中。 其耐腐蚀设计能够应对各种化学蒸汽，确保长期稳定运行。

分析设备和泄漏测试系统中也能见到ULVAC罗茨泵的身影。 在这些精密设备中，罗茨泵提供快速、可靠的真空环境，保证测试结果的准确性。

热处理炉、熔炼炉以及气体置换、填充、真空绝热等应用也都是ULVAC罗茨泵的传统优势领域。 其高可靠性和稳定性确保了这些工业过程的顺利进行。

05 技术规格：核心参数详解

ULVAC爱发科各系列罗茨泵都有其特定的技术规格，满足不同应用场景的需求。

以PRC系列为例，不同型号的性能参数有所区别：

PRC-003A的大抽速在50Hz情况下为280立方米/小时，大吸气压力为1.2×10³Pa，极限压力为4.0×10-1Pa。

PRC-006A的大抽速在50Hz情况下为500立方米/小时，大吸气压力为1.3×10³Pa，极限压力为6.7×10-1Pa。

PRC-012A和PRC-018A在50Hz情况下的大抽速分别达到1000立方米/小时和1500立方米/小时。

在电机规格方面，PRC系列采用屏蔽式三相异步电动机。 PRC-003A配备0.75千瓦（2极）电机，PRC-006A配备2.2千瓦（2极）电机，PRC-012A和PRC-018A则分别配备3.7千瓦和5.5千瓦的2极电机。

冷却系统对于罗茨泵的稳定运行至关重要。PRC系列采用水冷方式，冷却水温度要求在5～30℃之间。 PRC-003A和PRC-006A的冷却水量分别为2升/分钟和3升/分钟。

外形尺寸和重量也是设备选型时需要考虑的因素。PRC-003A的外形尺寸为296×575×260毫米，重量为51公斤；而大的PRC-018A尺寸为406×989×340毫米，重量达到150公斤。

06 选型指南：如何选择合适的罗茨泵

面对ULVAC丰富的产品线，如何选择合适的罗茨泵成为用户关注的重点。以下是一些选型的关键考虑因素：

气体类型是首要考虑因素。对于普通气体排气，可选择标准型号；对于腐蚀性气体、可燃气体和氧化性气体，则应选择表面处理并使用氟油的F型号。

抽速要求直接决定了泵的型号大小。根据应用场景的大气体负载，选择具有相应抽速的泵型。PRC系列从280立方米/小时到1500立方米/小时的抽速范围，可以满足大多数应用需求。

极限压力要求也是一个关键因素。PRC系列的极限压力在4.0×10-1Pa到6.7×10-1Pa之间，确保泵在高效区内运行。

安装环境同样不可忽视。根据现场空间选择适合的安装方式，并考虑冷却方式的选择——水冷或空冷，不同冷却方式对配套设施的要求不同。

特殊需求也不容忽视。如需要大气压驱动，应选择带变频器的型号；如对清洁度有高要求，则应选择PRC系列等专用型号。

07 维护保养：确保长期稳定运行

正确的使用和定期维护是保证ULVAC爱发科罗茨泵长期稳定运行的关键。用户需遵循一系列操作规范，以充分发挥设备性能。

油品管理是维护的重要一环。虽然罗茨泵本身是无油的，但与之配套的辅助泵可能需要使用油品。 应定期检查油位和油质，按推荐周期更换润滑油。PRC系列通常使用ULVOIL R-42矿物油，也可根据特殊需求选择氟油。

冷却系统维护对于水冷型罗茨泵至关重要。应确保冷却水流量和水温在要求范围内——PRC系列的冷却水温度要求在5～30℃之间，流量根据型号不同从2升/分钟到3升/分钟不等。

定期检查和清洁是预防性维护的基础。定期清洁泵外部，检查是否有异常振动或噪音。检查各连接部位是否有松动，密封部位是否有泄漏。

对于在高负荷条件下运行的泵，如在高吸入压力下连续运行且经常在大气和真空中反复排气的情况，建议加强监控和维护频率，以保护泵并延长其使用寿命。

长期停用时的保护措施也不可忽视。长期不使用时，应排净冷却水，特别是冬季防止冻裂；对泵进行必要的防锈处理；定期盘车，防止部件粘连；恢复使用前应进行全面的检查和测试。

从半导体芯片的微观世界到大型工业热处理设备，ULVAC爱发科密闭式电机罗茨泵以其的性能和可靠性，为现代制造业提供了坚实的真空技术基础。

随着新材料、新工艺的不断涌现，ULVAC爱发科将继续推动罗茨泵技术的创新，在追求更高清洁度、更高效率、更高可靠性的道路上不断前行，为制造业的发展提供强有力的支持。