超纯水品质守护者：岛津在线TOC分析仪的技术革新

在半导体和制药领域，水质纯净度直接决定产品性能与安全，而岛津TOC分析仪正是保证超纯水质量的精密哨兵。

在半导体制造和药品生产过程中，超纯水的品质直接影响产品性能与安全。总有机碳（TOC）分析仪作为高精度检测工具，在这些领域的水质监测中发挥着的作用。

无论是半导体芯片清洗用的超纯水，还是制药行业注射用水的质量控制，TOC分析仪都能提供快速、准确的测量数据，确保生产环境的洁净度符合严苛标准。

01 超纯水水质监测的重要性

超纯水是制药和半导体行业至关重要的资源。在制药领域，特别是注射用水的制备，必须持续监测超纯水的质量，以满足药典的严格要求。

半导体行业的许多工艺都需要用超纯水进行清洗工序，超纯水的品质直接影响到产品的良率。

污染源无处不在，它们都会对水质产生负面影响。一旦超纯水接触环境空气或进行分装，水的纯度就会快速下降。

TOC参数能快速反映水质情况，是水中有机物质含量的量化指标，对于评估超纯水水质至关重要。

02 岛津TOC分析仪的技术原理

岛津公司针对不同应用场景，开发了多种TOC分析技术，主要分为两大类：

UV氧化-电导率法

岛津eTOC系列中的TOC-1000e采用紫外线氧化法和电导率直接测量法。这种方法的原理是：超纯水的水流被导入过程分析仪，先是在紫外线灯关闭状态下流过测量单元，测得基础电导率。

随后样品流在系统中暂停，紫外线灯打开，通过发射的紫外线生成OH自由基，将样品流中的有机物质转化为CO₂。这些CO₂溶解在水中生成碳酸氢根离子，使样品的电导率提高。

最后，样品流重新流动，通过测量单元测得升高后的电导率，通过前后两个电导率的差值计算出TOC的浓度。

燃烧催化氧化法

岛津TOC-L系列采用680°C燃烧催化氧化法，目前已在世界范围内使用。这种方法通过高温燃烧样品，然后使用非色散红外（NDIR）检测器进行测量。

燃烧催化氧化法不仅可以有效地氧化易分解的低分子量有机物，还可以有效地氧化难分解的不溶性和大分子有机物。

测量范围极广，从4μg/L到30000 mg/L，适用于从超纯水到高污染水的所有领域。

03 产品系列及主要特点

TOC-1000e：超纯水在线监测专家

TOC-1000e是岛津eTOC系列中新的产品，专门用于超纯水设备的在线监控。它具有以下突出特点：

的灵敏度：TOC-1000e具有超高灵敏度，可应对超纯水的测定需求。

紧凑设计：整个机身比一张A4纸还小，重量不到3 kg，非常适合壁式安装或柱式安装。

环保技术：采用无汞准分子灯，结合“Active-Path"技术，同时实现高测量性能和的环保效应。

准分子灯里氙气体会被激发，发生放电，辐射出波长为172 nm的高能紫外光线，发挥出强大的氧化作用。

长期稳定性：采用单个测量单元设计，能使系统保持长期稳定，每年只需校准一次。

TOC-L系列：实验室分析的得力助手

TOC-L系列TOC分析仪采用岛津开发的680°C燃烧催化氧化法，提供4-30000 mg/L的超宽测量范围，检测限可达4μg/L。

该系列包括高灵敏度模型（检测限为4μg/L）和考虑成本性能的标准模型。

TOC-L系列具有节省空间和节能设计，仪器的宽度比传统岛津型号减少了20%，可以更有效地利用实验室空间。

04 在半导体行业的应用方案

半导体行业对超纯水的质量要求高，岛津TOC分析仪为该行业提供了完整的解决方案。

针对超纯水制备环节的不同使用场景和用途，可以选择合适的TOC分析仪。

在超滤的终端出水、混床、反渗透等工艺出水TOC浓度较低的部位，可以选用TOC-1000e在线监测仪器。它具有灵敏度高、体积小巧、性能的特点，可很好应对超纯水的测定。

而对于回收水、原水等TOC浓度高、水质相对比较复杂的点位，可以选用TOC-4200进行监测。

燃烧法TOC对水样氧化充分，检测精确，具有流程简单、反应快速、重现性好等特点。

05 在制药行业的应用方案

制药行业对超纯水有着非常严格的质量要求，必须符合各国药典的规定。岛津TOC分析仪能够同时满足制药行业对TOC浓度和电导率的测量需求。

TOC-1000e支持美国药典、欧洲药典、印度药典及中国药典中对TOC检测仪、电导率仪的要求，支持与LabSolution连用。

在制药行业，系统的验证、分析过程的无缝记录以及数据的完整性异常重要。

eTOC系列的仪器拥有用户管理和审计追踪功能，符合GxP（药品生产质量管理规范）的要求。

06 智能功能与维护保障

现代化通信功能

岛津eTOC系列拥有各种不同的通信手段，可以通过模拟输出（4～20 mA）或数字输出接口（TCP） 将结果传送给过程控制台。

通过与网络连接，工作人员可以在联网的电脑或平板上查看测量结果。

TOC-1000e还具有网页浏览器上查看/获取数据的功能，以及用户验证和设置功能，记录操作履历功能。

维护保养简单

岛津TOC分析仪设计上考虑了维护的便捷性。二氧化碳吸收器通常每年更换一次，主要作用是吹扫光源，防止光源处二氧化碳的残留。

冷凝水瓶需要定期清洁，如果长时间不清洗，废水中的有机物将大量繁殖，产生大量的CO2气体，对载气或样品造成污染，导致数据波动较大。

对于采用燃烧法的TOC-L系列，催化剂的寿命是影响灵敏度的关键。如果灵敏度下降，可以使用仪器菜单中的TC催化剂再生功能来清洁催化剂，如果清洁无效，建议更换新催化剂。

随着半导体和制药行业对超纯水水质要求的不断提高，岛津TOC分析仪的技术也在持续进步。TOC-1000e凭借其紧凑的设计、的性能和简单的维护，正成为越来越多高纯度制造企业的选择。

从实验室研究到工业生产，从在线监控到离线分析，岛津TOC分析仪以其精准的检测能力和可靠的数据支持，守护着高纯度制造行业的水质安全。