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玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
简要描述:

玉崎科学XTRAIA XD-3300半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度
玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度

在线 HRXRD/XRR 测量工具

  • 产品型号:XTRAIA XD-3200
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-29
  • 访  问  量:85

详细介绍

玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度

玉崎科学半导体设备理学Rigaku射线胶片厚度


毯式晶圆和图案晶圆的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3200 是一款多功能  射线计量工具,可在大批量生产中以高通量对毯式和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析。

测量结果包括通过  射线反射率 (XRR) 测量的膜厚度、密度和粗糙度,以及通过高分辨率 XRD (HRXRD) 测量的外延膜厚度、成分、应变、晶格弛豫和结晶度。


XTRAIA XD-3200 概述

适用于各种毯式晶圆应用的  射线计量解决方案

晶体管(SiGe)、LED/LD(GaN、GaAs、InP)、MEMS/传感器(PZT、AlN)、新型存储器(GST)、金属膜、多层膜

这种*的  射线计量工具能够在大批量生产中对 300 毫米(和 200 毫米)无层晶圆(从超薄单层到多层堆叠)进行高速测量。

XTRAIA 的性能归功于

XTRAIA XD-3200 提供:

  • 使用  射线反射率 (XRR) 评估所有类型的单层和多层薄膜(非晶、多晶、外延)的厚度、密度和粗糙度。

  • 高分辨率 X 射线衍射 (HRXRD) 用于通过摇摆曲线 (RC) 和倒易空间映射 (RSM) 测量来评估外延膜的厚度、成分、应变和结晶度。
  • 可以使用 1/4× 支架测量扭转/倾斜角和晶体取向(极点)。

XTRAIA XD-3200 特点

用于高效处理和过程监控的内联功能
300 mm 和 200 mm 晶圆兼容性
采用高功率 (9 kW) 旋转阳极 X 射线源
配备2D探测器,精确采集数据
用于灵活样品定位的载物台和测角仪
*的分析软件提供全面的数据解释支持
适用于大批量制造 (HVM) 的工厂自动化功能(GEM300、E84/OHT 支持)



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