详细介绍
半导体设备日本理学Rigaku荧光射线分析仪
半导体设备日本理学Rigaku荧光射线分析仪
通过为顶部照明型 ZSX Primus IV 和底部照明型 ZSX Primus IVi 创建通用的硬件和软件平台,可以在两个型号之间以及同一型号之间轻松共享应用程序。
SQX分析是利用定性分析结果进行定量分析的无标准FP分析。
・评估重元素产生的高次谱线的影响,自动选择最佳测量条件,实现更准确的SQX分析
・新增恒定角度测量设置模式,可在EZ扫描中检测微量元素
・EZ配备超高速需要不到 2 分钟测量时间的扫描模式
- 支持多层薄膜样品的筛选分析
- 任何样品薄膜都可以添加样品薄膜校正
- SQX 散射线 FP 分析(针对粉末和聚合物)现在直径为 30 毫米兼容
- 重新计算 SQX 时可以更改为 SQX 散射线 FP 分析
通过在样品室和光谱室之间添加真空隔板,可以缩短更换氦气氛所需的时间。此外,通过增加液体样品保持器检测机构,将液体样品引入真空气氛中不会出现错误,并且可以放心地进行测量。
气体保护型检测器在分析过程中产生零气体排放。 探测器无需安装气瓶。
通过采用r-θ驱动样品台,X射线强度不会因测量点而变化,并且映射位置分辨率为100μm,可以分析印刷电路板上的布线等微小部件,各种材料中的夹杂物是。
产品名称 | ZSX Primus IVi | |
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方法 | 波长色散射线荧光分析 (WDXRF) | |
目的 | 固体、液体、粉末、合金和薄膜的元素分析 | |
技术 | 扫描波长色散 X 射线荧光分析 (WDXRF) | |
主要部件 | Rh 目标 4kW 或 3kW,样品交换器最多 60 个样品 | |
主要选项 | He替代、r-θ驱动样品台、点/映射分析、样品观察机制 | |
控制(电脑) | 外部 PC、MS Windows® 操作系统、ZSX 指导软件 | |
机身尺寸 | 840(宽)×1250(高)×980(深)毫米 | |
体重(身体) | 500公斤 | |
电源 | 三相200V,40A,50/60Hz |
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