半导体设备日本理学Rigaku荧光射线分析仪

简要描述：

半导体设备ZSX Primus400日本理学Rigaku荧光射线分析仪
半导体设备日本理学Rigaku荧光射线分析仪

扫描式荧光X射线分析仪

产品型号：ZSX Primus400
厂商性质：生产厂家
更新时间：2024-09-29
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Rigaku理学

单晶结构分析半导体测量设备

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详细介绍

半导体设备日本理学Rigaku荧光射线分析仪

一种荧光射线分析仪，可以使用各种适配器测量各种形状的样品和多个样品。

除了能够测量大直径样品（φ400 mm x 50 mm）外，还可以测量质量达30 kg的样品，非常适合溅射靶材、磁盘分析、多层膜测量或元素分析大样本。这是一种荧光X射线分析仪，可以使用各种适配器测量各种形状的样品和多个样品。配备了ZSX Primus系列成熟的软件“ZSX Guidance"，实现了出色的可操作性和可维护性。配备了人为错误预防功能，即使是初学者也能获得准确的分析结果。
还可以在用内置高分辨率相机观察样品图像的同时测量位置并进行点映射测量。我们满足包括轻和超轻元素在内的高精度测绘测量的需求。

ZSX Primus400 特点

多种样品适配器，适用于大直径样品、不规则形状样品和多个样品

可直接测量直径为 400mm x 50mm 的样品。无需将珍贵的样品加工成更小的尺寸。我们还提供可同时设置多个样品的样品适配器和可容纳不规则形状样品的样品适配器。

可测元素Be~U

真空度控制机构APC（自动压力控制）可稳定测量部分的真空度，从而可以高精度测量包括超轻元素在内的轻元素。

使用波长色散系统进行点映射分析

采用r-θ驱动样品台。利用内置高精度相机（500万像素）确认分析部位的同时，可以利用波长色散法优异的光谱分辨率，进行精确的点映射测量，映射位置分辨率为100微米，甚至对于超轻元素。

ZSX制导软件

它是一款适合初学者的软件，可让您使用可视屏幕执行高级分析。有关荧光 X 射线分析技术的专业知识已融入整个系统，包括支持创建定量应用的评估程序。

预防人为错误

ZSX Gudance 具有人为错误预防功能，允许您为每个操作员设置软件访问级别，从而允许任何人使用易于使用的操作屏幕进行测量。

光学保护

ZSX Primus400是一款底照式X射线荧光分析仪，其中从X射线管到探测器的光学系统放置在被测样品的下方。为了防止即使在测量过程中样品掉落也会损坏光学系统，在样品和X射线管之间放置了铍滤光片以保护X射线管，并在样品和准直器之间放置了保护膜。我是。

ZSX Primus400 规格

产品名称	ZSX Primus400
方法	波长色散射线荧光分析 (WDXRF)
目的	固体、粉末、合金和薄膜的元素分析
技术	扫描波长色散 X 射线荧光分析 (WDXRF)
主要部件	3/4 kW 密封射线管，r-theta 台
选项	用于附加分析的晶体、各种样品架、相机
控制（电脑）	外部 PC、MS Windows® 操作系统、ZSX 指导软件
机身尺寸	1376（宽）x 1439（高）x 890（深）毫米
重量	约800公斤（本体）
电源	三相 200 VAC 50/60 Hz，8 kW

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