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HORIBA堀场微流量压力不敏感质量流量计
简要描述:

HORIBA堀场D700uF微流量压力不敏感质量流量模块
HORIBA堀场微流量压力不敏感质量流量模块

  • 产品型号:D700uF
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-12
  • 访  问  量:64

详细介绍

HORIBA堀场微流量压力不敏感质量流量模块

HORIBA堀场微流量压力不敏感质量流量模块

D700uF


微流量压力不敏感质量流量模块

D700uF(Micro Flow) 专为 ≤ 5SCCM 流量应用而设计。
≤ 5SCCM 流量控制在高纵横比工艺中一直非常关键。
专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

  • 低至 0.025SCCM 的流量控制能力

    • 精确的调谐气体控制,增强工艺可调性

  • ≤ 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制

    • 提供高生产率和更好的过程性能

  • 内部流量计量

    • 所有制造产品的性能可靠

  • 状态监控功能

    • 提供更多内部数据,实现更智能的故障预测

  • PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性

    • 坚固耐用,颗粒风险更低,减少停机时间并优化产量


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