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详细介绍
HORIBA堀场微流量压力不敏感质量流量模块
HORIBA堀场微流量压力不敏感质量流量模块
微流量压力不敏感质量流量模块
D700uF(Micro Flow) 专为 ≤ 5SCCM 流量应用而设计。
≤ 5SCCM 流量控制在高纵横比工艺中一直非常关键。
专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。
低至 0.025SCCM 的流量控制能力
精确的调谐气体控制,增强工艺可调性
≤ 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制
提供高生产率和更好的过程性能
内部流量计量
所有制造产品的性能可靠
状态监控功能
提供更多内部数据,实现更智能的故障预测
PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性
坚固耐用,颗粒风险更低,减少停机时间并优化产量
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