相关文章
RELATED ARTICLES2024-09-11
2025-02-18
2024-12-10
2025-02-20
2024-08-09
2025-02-19
2025-02-18
2025-02-18
2025-02-17
2025-03-05
详细介绍
HOBIBA堀场原厂混合喷射系统液体蒸发器
HOBIBA堀场原厂混合喷射系统液体蒸发器
混合喷射系统液体蒸发器
MV-2000 使用新的龙卷风流法,即使在低温下也能实现稳定的汽化。这适用于汽化各种液体,甚至是具有挑战性的源,例如“High-k",一种易于热解的液体源。
使用新的旋流法在低温下稳定蒸发
更高的流速汽化(添加稳定性数据)
可以汽化容易热解的液体源
型 | MV-2000 系列 |
---|---|
液体材料 | 除对不锈钢有腐蚀性的液体(例如 HCl、HF)外的所有液体 |
设定温度 | 按汽化条件(控制阀 : 最高 140 °C 汽化器 : 最高 200 °C) |
泄漏完整性 | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He) |
内部泄漏标准 | ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He) |
接液部件 | SUS316L 、 PFA |
温度传感器 | K 型热电偶 (CA) |
耐压性 | 1MPa(克) |
标准接头 | 液体入口:1/8 VCR 型 外螺纹 载气入口:1/4 VCR 型 内螺纹 气体出口:1/2 VCR 型 外螺纹 |
工作温度 | 15 - 50 °C |
选择 | 空气阀(内漏标准:≤ 1×10-9 Pa·m3 / s(He)) |
产生的流量可能因液体材料、生成量、生成条件等而异
产品咨询