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详细介绍
HOBIBA堀场原厂混合喷射系统液体蒸发器
HOBIBA堀场原厂混合喷射系统液体蒸发器
混合喷射系统液体蒸发器
MV-2000 使用新的龙卷风流法，即使在低温下也能实现稳定的汽化。这适用于汽化各种液体，甚至是具有挑战性的源，例如“High-k"，一种易于热解的液体源。
使用新的旋流法在低温下稳定蒸发
更高的流速汽化（添加稳定性数据）
可以汽化容易热解的液体源
| 型 | MV-2000 系列 |
|---|---|
| 液体材料 | 除对不锈钢有腐蚀性的液体（例如 HCl、HF）外的所有液体 |
| 设定温度 | 按汽化条件（控制阀 ： 最高 140 °C 汽化器 ： 最高 200 °C） |
| 泄漏完整性 | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s （He） |
| 内部泄漏标准 | ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s （He） |
| 接液部件 | SUS316L 、 PFA |
| 温度传感器 | K 型热电偶 （CA） |
| 耐压性 | 1MPa（克） |
| 标准接头 | 液体入口：1/8 VCR 型 外螺纹 载气入口：1/4 VCR 型 内螺纹 气体出口：1/2 VCR 型 外螺纹 |
| 工作温度 | 15 - 50 °C |
| 选择 | 空气阀（内漏标准：≤ 1×10-9 Pa·m3 / s（He）） |
产生的流量可能因液体材料、生成量、生成条件等而异
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