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HOBIBA堀场原厂混合喷射系统液体蒸发器
简要描述:

HOBIBA堀场MV-2000原厂混合喷射系统液体蒸发器
HOBIBA堀场原厂混合喷射系统液体蒸发器

  • 产品型号:MV-2000
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-12
  • 访  问  量:133

详细介绍

HOBIBA堀场原厂混合喷射系统液体蒸发器

HOBIBA堀场原厂混合喷射系统液体蒸发器

混合喷射系统液体蒸发器

MV-2000 使用新的龙卷风流法,即使在低温下也能实现稳定的汽化。这适用于汽化各种液体,甚至是具有挑战性的源,例如“High-k",一种易于热解的液体源。

  • 使用新的旋流法在低温下稳定蒸发

  • 更高的流速汽化(添加稳定性数据)

  • 可以汽化容易热解的液体源

 
MV-2000 系列
液体材料除对不锈钢有腐蚀性的液体(例如 HCl、HF)外的所有液体
设定温度按汽化条件(控制阀 : 最高 140 °C 汽化器 : 最高 200 °C)
泄漏完整性≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)
内部泄漏标准≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He)
接液部件SUS316L 、 PFA
温度传感器K 型热电偶 (CA)
耐压性1MPa(克)
标准接头液体入口:1/8 VCR 型 外螺纹 载气入口:1/4 VCR 型 内螺纹 气体出口:1/2 VCR 型 外螺纹
工作温度15 - 50 °C
选择空气阀(内漏标准:≤ 1×10-9 Pa·m3 / s(He))
可滚动
  • 产生的流量可能因液体材料、生成量、生成条件等而异


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