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HORIBA堀场全新排气压力控制器玉科精品优选
简要描述:

HORIBA堀场FS-3000全新排气压力控制器玉科精品优选
HORIBA堀场全新排气压力控制器玉科精品优选

  • 产品型号:FS-3000
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-12
  • 访  问  量:135

详细介绍

HORIBA堀场全新排气压力控制器玉科精品优选

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排气压力控制器

EC-5000 系列排气压力控制器可以在腔室内保持一致的压力,由用户选择。高分辨率步进电机和的蝶阀确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。

好处:

  • 适用于高真空:不锈钢机身

  • 耐腐蚀:还提供带 PTFE 主体的型号

  • 符合 RoHS 标准。

当排气流量调整到优良水平时:

  • 光刻胶分布在均匀的薄膜中

  • 防止油雾的二次沉积

  • 防止危险蒸气的扩散。

与流量传感器控制相比,由于光刻胶和其他污染的积累引起的灵敏度变化较小,并且消除了湍流和其他噪声的影响,从而实现了稳定、响应性的控制。


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