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详细介绍
HORIBA堀场全新热分流器玉科精品优选
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热分流器
FS-3000 结合了 HORIBA STEC 的质量流量控制器 (MFC) 和 MuCube(主控制器)。FS-3000 通过配备 HORIBA STEC 专有控制算法的 MuCube 控制 MFC,实现了稳定的分光控制。
该控制算法通过控制流速比实现稳定的流速分流控制,同时使用 HORIBA STEC 的控制优化技术控制 FS-3000 的上游压力。此外,即使改变分流比,控制算法也能实现对流速分流的高速响应。
提高可扩展性、维护性能 FS-3000 支持通过高速信号处理分离多达 15 个流道。当 MFC 发生故障时,只需更换发生故障的从站即可修复 FS-3000。
灵活响应所需规格 FS-3000 支持多种气体,包括混合气体。此外,FS-3000 还支持 RS-485、DeviceNet 作为用户界面。
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