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详细介绍
日本HORIBA堀场全新电容式压力计玉科直销
日本HORIBA堀场全新电容式压力计玉科直销
绝对压力测量对于包括半导体，FPD, HDD, PV和涂层在内的各种行业的真空工艺是至关重要的。电容式压力计从膜片的变形来确定总压力，当膜片的两侧施加压力差时，膜片发生形变。电容式压力计较于其他方法的优点是:
• 高精度
• 压力输出对气体的依赖较小
• 相对气体的耐腐蚀性
微型自加热设计
创新的电极结构带来高性能和高稳定性
SUS316L隔膜
可从温度控制 （55，100°C ） 或非加热型选择
一键调零
电源要求+/-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS 标准
| 模型 | VG-211S | VG-221S | ||
| 满量程测量范围 | 133.32帕（客） | 1.3332千帕(电流)、13.332千帕(电流)、133.32千帕(电流) | 133.32帕斯卡（A） | 1.3332千帕(电流)、13.332千帕(电流)、133.32千帕(电流) |
| 传感器温度*1 | 和。 (25 摄氏度) | 55℃ / 100℃ | ||
| 准确度 *2 | 0.5% 相对湿度 | 0.25% 相对湿度 | 0.5% 相对湿度 | 0.25% 相对湿度 |
| 解决 | 满量程的 0.03% | 满量程的 0.01% | 满量程的 0.03% | 满量程的 0.01% |
| 零点温度系数 | 满量程的 0.01% /℃ | 满量程的 0.005% /℃ | 满量程的0.005% /℃ | 满量程的 0.0025% /℃ |
| 跨度温度系数 | 0.05% 相对湿度/℃ | 0.03% 相对湿度/℃ | 0.03% 相对湿度/℃ | 0.02% 相对湿度/℃ |
| 响应时间 | < 60毫秒 | |||
| 工作温度*3 | 10-50℃ | |||
| 接触液体的材质 | SUS316L | |||
| 加压极限 | 300千帕（安） | 350千帕（安） | 300千帕（安） | 350千帕（安） |
| 输出信号 | 0-10VDC负载电阻：10kΩ以上 | |||
| I/O 连接器 | D-Sub 15针 | |||
| 电源电压 | +15VDC±5％、0.1A最大 -15VDC±5％、0.1A最大 | +15VDC±5%，0.6A最大。-15VDC±5%，0.6A最大。 | ||
| 24VDC±5%，最大2.4W。 | 24VDC±5%，最大22W。 | |||
| 预热时间 | 15 分钟 | 60分钟（55℃控温型） 120分钟（100℃控温型） | ||
| 开路集电极输出 | 额定电压：30V 额定电流：50mA | |||
| 重新归零输入 *4 | 零电压触点输入 触点开放电压：13V 最大触点电流：1.3mA | |||
| 标准配件*5 | KF16，1/2 英寸 VCR 母头，ICF34，1/4 英寸 VCR 母头 | |||
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