玉崎科学ONYX 3000半导体设备理学Rigaku光学工具
玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具

混合 XRF 和光学计量 FAB 工具
能量色散X射线荧光光谱仪（ED-XRF），能够以无损、非接触的方式同时分析300mm和200mm晶圆上各种薄膜的厚度和成分。

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详细介绍

玉崎科学半导体设备理学Rigaku光学工具

ONYX 3000 特点

Microspot X 射线束和模式识别

器件结构的 2D 和 3D 光学特性

高通量、全面和生产晶圆测量

广泛的材料和应用

高分辨率和精确度覆盖从埃到微米的厚度

轻元素灵敏度的氦气吹扫测量环境

可配置用于小于 300mm 的晶圆

基于SEMIS2和SEMIS8的设计

ONYX 3000 规格

产品名称	玛瑙
方法	X 射线荧光和光学显微镜
目的	测量从超薄单层薄膜到多层薄膜的所有材料。 BEOL 和 WLP 结构的表征
技术	处理微点 EDXRF 和 2D、3D 光学显微镜
主要部件	SEMIS2和SEMIS8，基于微点多毛细管X射线光学器件的设计
选项	SECS/GEM通讯软件、COLORS光束模块
控制（电脑）	内部 PC、MS Windows® 操作系统
机身尺寸	1390（宽）×2040（高）×2960（深）毫米
大量的	1250公斤（身体）
电源	单相 208 VAC 50/60 Hz，16A

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