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日本ULVAC爱发科大型设备溅射SV-9045
简要描述:

日本ULVAC爱发科SV-200 SV-4540 SV-6040 大型设备溅射SV-9045
日本ULVAC爱发科大型设备溅射SV-9045

SV系列是立式间歇式溅射装置。 有磁盘压模专用的SV-200,以及可处理大量基板的转盘式。

  • 产品型号:SV-200 SV-4540 SV-6040
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-11-25
  • 访  问  量:65

详细介绍

日本ULVAC爱发科大型设备溅射SV-9045

日本ULVAC爱发科大型设备溅射SV-9045



间歇式溅射设备SV系列


特征

  • SV-4540、6040和9045为转盘式,具有较大的电路板装载能力,非常适合中小型或小批量、多品种生产。

  • SV-200 圆盘压模机 镍膜沉积专用设备,超紧凑、全自动、高产量。

目的

  • 在各种基材上沉积电极膜、绝缘膜和介电膜

规格


SV-200SV-4540SV-6040SV-9045
标准排气系统8"低温泵12"低温泵12"低温泵16"低温泵
极限压力6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa
车厂方向
成膜面积均匀性

Φ200mm±5%L300mm±10%L300mm±10%L400mm±10%
基材加热没有任何250℃250℃250℃
控制系统自动的自动的自动的自动的

不包括选项SV-200
涡轮泵非水冷电极
油扩散泵APC机制
多个同时仓库基材换向机构
下站反应溅射
常规阴极
铁磁材料阴极
射频蚀刻清洗 (SV-4540)
偏置机构(SV-4540)



























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