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日本ULVAC爱发科SV-200 SV-4540 SV-6040 大型设备溅射SV-9045 日本ULVAC爱发科大型设备溅射SV-9045 SV系列是立式间歇式溅射装置。 有磁盘压模专用的SV-200,以及可处理大量基板的转盘式。