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详细介绍
HORIBA堀场 玉科精选 超薄质量流量模块
HORIBA堀场 玉科精选 超薄质量流量模块
DZ-100 继承了与 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION™ 技术——用于层流粘性流范围的差压检测系统。这项创新技术可以高精度地控制各种气体的质量流量。与 D500 一样,用户可配置的 DZ-100 支持多量程和多气体应用。MFC 的紧凑设计减少了内部气体流路的内部体积,优化的控制算法提高了响应特性。它使用具有高处理能力的紧凑型 CPU,压电驱动电路和控制 CPU 安装在 MFC 模块中,而电源组件则安装在单独的小型控制箱中。通过使用专用的微型连接器连接,最多可以控制四个 MFC 模块。
特征
• 快速响应(≦0.4 秒)
• 重量轻、紧凑(宽:10mm、高:99mm)
• 扩大工作供气压力范围
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