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HORIBA堀场高速和精密压力不敏感质量流量计
简要描述:

HORIBA堀场D700MG高速和精密压力不敏感质量流量计
HORIBA堀场高速和精密压力不敏感质量流量计

  • 产品型号:D700MG
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-12
  • 访  问  量:109

详细介绍

HORIBA堀场高速和精密压力不敏感质量流量计

HORIBA堀场高速和精密压力不敏感质量流量计

高速和精密压力不敏感质量流量模块

关键的半导体制造工艺不断需要精密的气体流量控制器件,这些器件既能实现未来的创新,又能实现前沿存储器和逻辑器件从实验室到晶圆厂的过渡。HORIBA 提出了新的基于压力的 MFC D700MG,这是 D500MG 的上部兼容型号,以支持客户的挑战

  • 机上气体和满量程配置更改 *仅限 EtherCAT

    • 为流程优化提供灵活性

  • 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制

    • 提供高生产率和更好的过程性能

  • 用于小流速的 MRMG 功能 (Bin101 – Bin105)

    • 为需要小流速的工艺提供灵活性

  • PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性

    • 坚固耐用,颗粒风险更低,减少停机时间并优化产量

  • 状态监控器功能

    • 提供更多内部数据,实现更智能的故障预测


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