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详细介绍
HORIBA堀场高速和精密压力不敏感质量流量计
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高速和精密压力不敏感质量流量模块
关键的半导体制造工艺不断需要精密的气体流量控制器件,这些器件既能实现未来的创新,又能实现前沿存储器和逻辑器件从实验室到晶圆厂的过渡。HORIBA 提出了新的基于压力的 MFC D700MG,这是 D500MG 的上部兼容型号,以支持客户的挑战
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