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HORIBA堀场全新压力不敏感质量流量模块
简要描述:

HORIBA堀场CRITERION D500全新压力不敏感质量流量模块
HORIBA堀场全新压力不敏感质量流量模块

  • 产品型号:CRITERION D500
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-12
  • 访  问  量:77

详细介绍

HORIBA堀场全新压力不敏感质量流量模块

HORIBA堀场全新压力不敏感质量流量模块

压力不敏感质量流量模块

这种的压力不敏感质量流量模块安装了差压检测和压电执行器阀。

CRITERION D500 提供的高性能确保其可用于一系列优良的半导体制造工艺;压力不敏感、多量程/多气体/多压力、G-LIFE(综合限流器方程的气体定律检查)自诊断功能,精度高,响应快,量程宽,全金属。

  • 压力不敏感性能
    新的高性能压力不敏感功能提供了简化的供气系统

  • 多量程、多气体、多压力解决方案
    新功能允许用户更改气体类型、满量程流量和供气压力范围

  • G-LIFE(集成限流器方程的气体定律检查)自诊断功能
    优良的过程健康监测功能允许作员进行自己的测试,通常在 3 秒或更短的时间内,以提高吞吐量

  • 高精度
    通过优良的三维调整提高了工艺气体的流量精度

  • 快速响应
    响应:< 0.8 秒
    可实现准确、稳定的流量控制

  • 动态范围
    宽控制范围:0.2% F.S. 至 100% F.S.


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