相关文章
RELATED ARTICLES2025-02-18
2024-08-09
2025-01-10
2024-09-02
2024-09-30
2025-03-05
2025-02-18
2025-02-18
2024-09-27
2024-10-31
详细介绍
HORIBA堀场全新压力不敏感质量流量模块
HORIBA堀场全新压力不敏感质量流量模块
压力不敏感质量流量模块
这种的压力不敏感质量流量模块安装了差压检测和压电执行器阀。
CRITERION D500 提供的高性能确保其可用于一系列优良的半导体制造工艺;压力不敏感、多量程/多气体/多压力、G-LIFE(综合限流器方程的气体定律检查)自诊断功能,精度高,响应快,量程宽,全金属。
压力不敏感性能
新的高性能压力不敏感功能提供了简化的供气系统
多量程、多气体、多压力解决方案
新功能允许用户更改气体类型、满量程流量和供气压力范围
G-LIFE(集成限流器方程的气体定律检查)自诊断功能
优良的过程健康监测功能允许作员进行自己的测试,通常在 3 秒或更短的时间内,以提高吞吐量
高精度
通过优良的三维调整提高了工艺气体的流量精度
快速响应
响应:< 0.8 秒
可实现准确、稳定的流量控制
动态范围
宽控制范围:0.2% F.S. 至 100% F.S.
产品咨询