HORIBA堀场新概念压力不敏感质量流量模块

HORIBA堀场新概念压力不敏感质量流量模块

SEC-Z700S 系列

新概念压力不敏感质量流量模块

SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力不敏感功能，可实现稳定的流量控制。机载压力测量降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

新的高性能功能提供了简化的供气系统。典型的多室气体管路具有管路调节器、压力传感器和过滤器，以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。

SEC-Z700S 系列具有高稳定性，可在不影响上游和下游压力波动的情况下控制气体流量。提供流量输出、温度和压力读数。

基本功能

• 多气体/多量程功能。气体类型和满量程流量可由客户更改

• 稳定控制气体流量，不受上游和下游压力波动的影响

• 板载多显示器

• 超洁净设计 - 金属隔膜、全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理（标准）

• 尺寸紧凑 接头尺寸相同，最大 50 SLM

• 信号兼容性：EtherCAT、DeviceNet 模型

主要特点

• 保修 1% 设定点高精度（流量 ≥5%）

• 高重复性 （≤±0.15% 设定点/流速 ≥5%）

• 宽范围控制（0.5-100% 满量程）

• 可调响应 （300ms≦t≦1000ms）

• 高工作温度 （15-60°C）

• 低阀座泄漏性能 （≤0.1% 满量程/Bin#01-#06）

• 高耐腐蚀性设计