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详细介绍
HORIBA堀场数字质量流量控制器玉科精选
HORIBA堀场数字质量流量控制器玉科精选
数字质量流量控制器
SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制各种流量:从 10 SCCM 到 1000 SLM。SEC-N100 系列还提供各种类型的通信,即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。SEC-N100 系列提供高精度 (+/- 1.0% S.P. *1) 和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能,强调其在您的过程中降低成本的能力。
*1 不包括 SEC-N17X 系列。
控制范围广,从微流量到大流量,从 10 SCCM 到 1000 SLM
各种通信和电源
高 S.P. 精度:+/- 1.0% S.P. (*1)
1 秒高速响应 (*1)
多气体、多量程解决方案
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