全国服务咨询热线:

0755-26803456

当前位置:首页  >  产品中心  >  HORIBA堀场  >  浓度监测仪  >  CS-620FHOBIBA堀场原装光纤式热磷酸浓度监测仪

HOBIBA堀场原装光纤式热磷酸浓度监测仪
简要描述:

HOBIBA堀场CS-620F原装光纤式热磷酸浓度监测仪
HOBIBA堀场原装光纤式热磷酸浓度监测仪

  • 产品型号:CS-620F
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-12
  • 访  问  量:89

详细介绍

HOBIBA堀场原装光纤式热磷酸浓度监测仪

HOBIBA堀场原装光纤式热磷酸浓度监测仪

光纤式热磷酸浓度监测仪

CS-620F 系列

磷酸浓度监测仪,无需冷却即可实时测量高温磷酸。

非常适合管理磷酸浓度,主要用于 3D NAND 闪存 SiN 层的蚀刻工艺*1,这是半导体制造工艺的一部分。
*1 SiN 层:在硅晶片和类似衬底上形成的由硅和氮化合物组成的薄膜。

产品名称化学溶液监测仪
CS-620F 系列
测量原理吸收光谱法
计算原理温度补偿型多变量分析
样本H3采购订单4/小时2O

可测量范围
重复性


元件可测量范围
(mass%)
重复性
(mass%)
模拟输出
范围(质量%)
第 1 个解决方案H3采购订单485.00-92.00+/-0.1085.00-100.00
H2O8.0-15.0+/-0.30.0-15.0
・ 重复性由平均值(1 小时)的最大误差定义。
・ 使用相同化学品进行低温测量 (140°C) 和高温测量 (170°C) 时,
可能会有差异(最大 +/- 0.30%)。
测量条件
1) 测量间隔:约 3 秒(最小)
2) 移动平均:16 次
连接配件尺寸1 英寸或 3/4 英寸
样品条件样品温度:140 至 170°C
大气温度、化学温度波动:+/- 1°C 以内(时间:1 小时)
输入压力:0.2 MPa 或更低
压力波动:0.02 MPa 或更低
流量:1 至 30 L/min
空气(用于作和吹扫)连接端口:4 mm 外径快速接头
压力:0.2 MPa ± 0.02 MPa
电源100 至 230 V AC(单相),50/60 Hz
功耗约 85 VA(不包括启动时的瞬态电流)
通信并行 I/O、RS-232C、模拟输出
尺寸(监视器) 200 (W) × 308 (D) × 78 (H) mm
(灯单元) 200 (W) × 262 (D) × 100 (H) mm
(样品池) 240 (W) × 209 (D) × 205 (H) mm
重量(监视器)约 3.6 kg
(灯单元) 约 2.8 kg
(样品池) 约 3.0 kg
环境温度(监视器、灯单元) 20 至 30°C
(光纤、样品池) 20 至 100°C
* 应避免温度突然变化,在 +/- 1°C/1 小时内
环境湿度(显示器、灯单元) 40 至 70%(应无结露)
安装倾斜角度(显示器、灯单元)+/-1 度
以内(样品池) 请安装,以免气泡停留。
光纤长度: 5 m, 弯曲半径: R150 mm


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

全国统一服务电话

19270095986

电子邮箱:209023083@qq.com

公司地址:龙华街道龙华大道906号电商集团7层

扫码加微信