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详细介绍
HOBIBA堀场原装光纤式热磷酸浓度监测仪
HOBIBA堀场原装光纤式热磷酸浓度监测仪
光纤式热磷酸浓度监测仪
非常适合管理磷酸浓度，主要用于 3D NAND 闪存 SiN 层的蚀刻工艺*1，这是半导体制造工艺的一部分。
*1 SiN 层：在硅晶片和类似衬底上形成的由硅和氮化合物组成的薄膜。
| 产品名称 | 化学溶液监测仪 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型 | CS-620F 系列 | ||||
| 测量原理 | 吸收光谱法 | ||||
| 计算原理 | 温度补偿型多变量分析 | ||||
| 样本 | H3采购订单4/小时2O | ||||
可测量范围 | 元件 | 可测量范围 （mass%） | 重复性 （mass%） | 模拟输出 范围（质量%） | |
| 第 1 个解决方案 | H3采购订单4 | 85.00-92.00 | +/-0.10 | 85.00-100.00 | |
| H2O | 8.0-15.0 | +/-0.3 | 0.0-15.0 | ||
| ・ 重复性由平均值（1 小时）的最大误差定义。 ・ 使用相同化学品进行低温测量 （140°C） 和高温测量 （170°C） 时， 可能会有差异（最大 +/- 0.30%）。 | |||||
| 测量条件 | 1） 测量间隔：约 3 秒（最小） 2） 移动平均：16 次 | ||||
| 连接配件尺寸 | 1 英寸或 3/4 英寸 | ||||
| 样品条件 | 样品温度：140 至 170°C 大气温度、化学温度波动：+/- 1°C 以内（时间：1 小时） 输入压力：0.2 MPa 或更低 压力波动：0.02 MPa 或更低 流量：1 至 30 L/min | ||||
| 空气（用于作和吹扫） | 连接端口：4 mm 外径快速接头 压力：0.2 MPa ± 0.02 MPa | ||||
| 电源 | 100 至 230 V AC（单相），50/60 Hz | ||||
| 功耗 | 约 85 VA（不包括启动时的瞬态电流） | ||||
| 通信 | 并行 I/O、RS-232C、模拟输出 | ||||
| 尺寸 | （监视器） 200 （W） × 308 （D） × 78 （H） mm （灯单元） 200 （W） × 262 （D） × 100 （H） mm （样品池） 240 （W） × 209 （D） × 205 （H） mm | ||||
| 重量 | （监视器）约 3.6 kg （灯单元） 约 2.8 kg （样品池） 约 3.0 kg | ||||
| 环境温度 | （监视器、灯单元） 20 至 30°C （光纤、样品池） 20 至 100°C * 应避免温度突然变化，在 +/- 1°C/1 小时内 | ||||
| 环境湿度 | （显示器、灯单元） 40 至 70%（应无结露） | ||||
| 安装倾斜角度 | （显示器、灯单元）+/-1 度 以内（样品池） 请安装，以免气泡停留。 | ||||
| 光纤 | 长度： 5 m， 弯曲半径： R150 mm | ||||
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