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详细介绍
HOBIBA堀场原装光纤式热磷酸浓度监测仪
HOBIBA堀场原装光纤式热磷酸浓度监测仪
光纤式热磷酸浓度监测仪
非常适合管理磷酸浓度,主要用于 3D NAND 闪存 SiN 层的蚀刻工艺*1,这是半导体制造工艺的一部分。
*1 SiN 层:在硅晶片和类似衬底上形成的由硅和氮化合物组成的薄膜。
产品名称 | 化学溶液监测仪 | ||||
---|---|---|---|---|---|
型 | CS-620F 系列 | ||||
测量原理 | 吸收光谱法 | ||||
计算原理 | 温度补偿型多变量分析 | ||||
样本 | H3采购订单4/小时2O | ||||
可测量范围 | 元件 | 可测量范围 (mass%) | 重复性 (mass%) | 模拟输出 范围(质量%) | |
第 1 个解决方案 | H3采购订单4 | 85.00-92.00 | +/-0.10 | 85.00-100.00 | |
H2O | 8.0-15.0 | +/-0.3 | 0.0-15.0 | ||
・ 重复性由平均值(1 小时)的最大误差定义。 ・ 使用相同化学品进行低温测量 (140°C) 和高温测量 (170°C) 时, 可能会有差异(最大 +/- 0.30%)。 | |||||
测量条件 | 1) 测量间隔:约 3 秒(最小) 2) 移动平均:16 次 | ||||
连接配件尺寸 | 1 英寸或 3/4 英寸 | ||||
样品条件 | 样品温度:140 至 170°C 大气温度、化学温度波动:+/- 1°C 以内(时间:1 小时) 输入压力:0.2 MPa 或更低 压力波动:0.02 MPa 或更低 流量:1 至 30 L/min | ||||
空气(用于作和吹扫) | 连接端口:4 mm 外径快速接头 压力:0.2 MPa ± 0.02 MPa | ||||
电源 | 100 至 230 V AC(单相),50/60 Hz | ||||
功耗 | 约 85 VA(不包括启动时的瞬态电流) | ||||
通信 | 并行 I/O、RS-232C、模拟输出 | ||||
尺寸 | (监视器) 200 (W) × 308 (D) × 78 (H) mm (灯单元) 200 (W) × 262 (D) × 100 (H) mm (样品池) 240 (W) × 209 (D) × 205 (H) mm | ||||
重量 | (监视器)约 3.6 kg (灯单元) 约 2.8 kg (样品池) 约 3.0 kg | ||||
环境温度 | (监视器、灯单元) 20 至 30°C (光纤、样品池) 20 至 100°C * 应避免温度突然变化,在 +/- 1°C/1 小时内 | ||||
环境湿度 | (显示器、灯单元) 40 至 70%(应无结露) | ||||
安装倾斜角度 | (显示器、灯单元)+/-1 度 以内(样品池) 请安装,以免气泡停留。 | ||||
光纤 | 长度: 5 m, 弯曲半径: R150 mm |
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