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玉科精品HOBIBA堀场光纤式化学浓度监测仪
简要描述:

玉科精品HOBIBA堀场CS-600F光纤式化学浓度监测仪
玉科精品HOBIBA堀场光纤式化学浓度监测仪

  • 产品型号:CS-600F
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-12
  • 访  问  量:93

详细介绍

玉科精品HOBIBA堀场光纤式化学浓度监测仪

玉科精品HOBIBA堀场光纤式化学浓度监测仪

光纤式化学浓度监测仪

CS-600F 系列

一种基于光纤的化学品浓度监测仪,用于测量半导体制造过程中使用的化学品,如清洗和蚀刻。

可以测量湿法工艺所必需的高温化学品。实现快速、稳定和节省空间的解决方案,从而优化化学品管理并提高其精度。

CS-600F 系列
测量
原理
吸收光谱法
计算
原理
温度补偿型多变量分析


样品溶液
温度
20〜80°C
测量周期约 3 秒
LCD
显示屏
(1) 测量值 (%)
(2) 浓度警报 (HH/H/L/LL)
(3) 错误代码 (EXXX)
(4) 化学温度 (°C)
(5) 串/并行通信状态 (P/S)
(6) 背景校正失败次数 (CXXX)
按键输入(1) 浓度警报设置 (HH/H/L/LL)
(2) 浓度值偏移
(3) 背景校正
(4) 热水校正
(5) 随温度变化的浓度变化
并行
输入
输入电压为 12 V 至 30 V DC,通过光电耦合器
绝缘 (1) 并联浓度警报输出(开/关)
(2) 用于测量
的切换化学溶液(包括背景校正)
(3) 热水校正
并行
输出
晶体管输出(NPN 集电极开路),通过光电耦合器
绝缘 通电时的最大电流:5 mA DC(无内部保护电阻)
断电时的最大电压:30 V DC
(1) 浓度警报(HH/H/L/LL 警报时打开)
(2) 监控错误(错误时关闭)
(3) 测量(测量时打开)
(4) 测量
用化学溶液类型 (5) 回波到热水校正输入
(6) 警告(发生时开启)
(7) 背景校正状态 8) 热水校正状态
串行输入RS-232C
(1) 要求读取测量数据
(2) 选择要测量
的化学溶液类型 (3) 热水校正
串行
输出

RS-232C
(1) 实测数据号
(2) 化学溶液类型
(3) 浓度值
(4) 错误代码
(5) 化学温度

模拟
输出
4 mA 至 20 mA
如果出现监视器错误、停止测量或
选择了无效的化学范围,则信号输出固定为 1.5 mA。负载电阻必须为最大值 500 Ω。
化学溶液
温度输入
接线端子入口(端子螺钉 M3)
铂电阻温度传感器:Pt100
(三线型,A 级) *不包括温度传感器。
空气
(用于作和吹扫)
连接端口:4 mm 外径快速接头、
压力:0.2 MPa ±0.02 Mpa
电源100~230V AC(单相)、50/60Hz
功耗约 85 VA
(不包括启动时的瞬态电流)
重量(监视器) 约 3.6 kg
(灯单元) 约 2.8 kg
(样品池) 约 1.2 kg
环境温度(显示器、灯单元) 20°C 至 30°C
(样品池、光纤) 20°C 至 35°C
(应避免温度突然变化,±1°C/1 小时内)
环境湿度(监视器、灯装置、样品池)40% 至 70%(
应无结露)
安装时的倾斜角度(监视器、Lamp 单元)在 ±1° 以内
光纤长度:5 m,最小弯曲半径:R 150 mm


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