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HOBIBA堀场 光纤式化学溶液浓度监测仪
简要描述:

HOBIBA堀场 CS-100F1光纤式化学溶液浓度监测仪
HOBIBA堀场 光纤式化学溶液浓度监测仪

  • 产品型号:CS-100F1
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-12
  • 访  问  量:107

详细介绍

HOBIBA堀场 光纤式化学溶液浓度监测仪

HOBIBA堀场 光纤式化学溶液浓度监测仪

光纤式化学溶液浓度监测仪

CS-100F1 系列

基于光纤的在线实时化学品浓度监测器,可测量半导体制造过程(如清洁和蚀刻)中使用的化学品。

可以获得在线实时测量。单个浓度监测器能够同时测量多达四种类型(化学品或范围),使其适用于单个晶圆清洁中的测量。

CS-151F1 系列CS-152F1 系列CS-150F1 型

测量对象
SC-1
(氨/过氧化
氢水溶液)
SC-2
(盐酸/过氧化氢
水溶液)
SPM
(硫酸/过氧化氢
水溶液)
一个单元最多可提供 4 种化学溶液或范围的多重监测。
测量原理吸收光谱法
浓度计算
原理
温度补偿多变量分析
测量范围
(质量 %)

H
2O2: 0.00% 至 5.00%
H
2O: 94.0% 至 100.0%
HCI:0.00% 至 2.00%
H
2O2:0.00% 至 2.00%
H
2O: 96.0% 至 100.0%
H2所以4:70.0% 至 96.0%
H
2O2: 0.00% 至 10.00%
H
2O: 4.0% 至 30.0%
重复性(质量 %)
(±1% 室温内)

H
2O2: ±0.30%
H
2O: ±1.5%
HCI:±0.15%
H
2O2: ±0.15 %
H
2O: ±1.5%
H2所以4:±0.50%
H
2O2:±0.50%
H
2O: ±1.5%
・上述列表的重复性是针对单元类型的。请联系我们了解在线比色皿类型的可重复性。
・根据测量范围,上述列表可能会有所不同。(详情请参阅我们的网站。
样品溶液温度20 到 80:(使用 Inline Cell 时)20 到 30:(使用 Cell Unit 时)
测量周期约 3 秒
LCD 和输入的内容
• 第 1 个组件:测得的浓度值 (%) •错误代码
• 第 2 个组件:测得的浓度值 (%) •并联浓度警报输出无效状态
• 第 3 个组件:测得的浓度值 (%) •串行/并联状态
• 第 1 个和第 2 个组件:浓度警报状态 •背景补偿数据
RS-232C 串行输入• 串行/并联状态切换 • 并联浓度报警输出状态
• 测量数据传输请求(有效/无效)
• 第 1 组分和第 2 组分浓度报警设置 • 目标测量溶液切换
并行输入12 至 30 V DC(光电耦合器绝缘) • 并联浓度报警输出
• 目标测量溶液切换
• 背景补偿
并行输出集电极开路输出(光电耦合器绝缘) • 第一成分浓度报警,4种 开启时
最大电流: • 第二成分浓度报警,4种DC
5 mA(无内部保护电阻) • 设备错误
关闭时最大外加电压:30 V DC • 测量
• 目标测量溶液类型
• 背景补偿状态
溶液温度输入接线端子连接(M3 端子螺钉)
• 铂电阻温度传感器:Pt100(Pt100 传感器应由客户准备)
模拟输出• 第 1 组分浓度警报,4 种类型:4 至 20 mA
• 第 2 组分浓度警报,4 种类型:4 至 20 mA
✽我们还支持其他测量范围。请在订购时注明。
光缆专用 CS-100F1 系列光缆(25 ±15:安装温度)
样品池我们可以为各种化学溶液提供专用样品池(在线池或池单元)。
电源100 V 至 230 V AC(单相)±10%、50/60 Hz、约 100 VA
尺寸205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm 8.1 (W) x 13.0 (D) x 10.6 (H) 英寸(不包括突出部分)
重量约 11 kg


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