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详细介绍
HOBIBA堀场独低浓度监测仪 硫酸/过氧化氢
HOBIBA堀场独低浓度监测仪 硫酸/过氧化氢
低浓度监测仪 - 硫酸/过氧化氢
通过连续稳定地测量硫酸、过氧化氢和痕量氢氟酸中 ppm 级的氟浓度,实现有效的过程管理。这对于在蚀刻工艺后去除聚合物残留物特别有价值。
| 型号名称 | HF-700A 型 |
|---|---|
| 测量方法 | 氟离子电极法 |
| 测量范围 | 0 - 1000 毫克/升 (0 - 100/200/500/1000 毫克/升) |
| 重复性 | 满量程的 +/- 2% 以内 |
| 稳定性 | 满量程的 +/- 2% 以内/10 分钟 |
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