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OsakaVacuum日本大阪真空节能涡轮分子泵
简要描述：

OsakaVacuum日本大阪真空TG1400F节能涡轮分子泵
OsakaVacuum日本大阪真空节能涡轮分子泵
特点：
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

  • 产品型号：TG1400F
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2025-04-19
  • 访  问  量：73
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详细介绍

OsakaVacuum日本大阪真空节能涡轮分子泵

OsakaVacuum日本大阪真空节能涡轮分子泵

  • 轻巧设计

  • 节能

  • 迅速启动

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大气冲击能力强
    经400次大气冲击验证

  • 多种通信模式

  • 符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半导体制造

  • 电子枪排气，离子源排气

  • FPD制造

  • 表面处理，表面改质

  • 各种电子部件的制造

  • 分析，试验装置

  • 管球制造，光学部件制造

  • 加速器，放射线设施，核聚变研究

  • 热处理

  • 研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。




型号TG1400F
吸气口法兰 VG200/ISO-B200/CF200
排气速度N2 (L/s)1400
N2(保護金網付) (L/s)1300
H2 (L/s)750
最大压缩比 N21×108
H24.3×103
极限压力(Pa/Torr)<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1(sccm)450
启动时间(min) 5.5-7
停止时间(min) 15-18
允许辅助压力(Pa/Torr)330/2.5
推荐辅助泵(L/min)≧250
安装角度任意
重量VG・ISO-B/CF(kg) 29/30
控制器型号TC1103

※1：辅助泵的容量是500L/min情况下的最大容许流量

[ 使用环境温度 ]

极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。

[ 对应气体种类 ]

由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。


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