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详细介绍
OsakaVacuum日本大阪真空高性能涡轮分子泵
OsakaVacuum日本大阪真空高性能涡轮分子泵
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
经400次大气冲击验证
多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半导体制造
电子枪排气,离子源排气
FPD制造
表面处理,表面改质
各种电子部件的制造
分析,试验装置
管球制造,光学部件制造
加速器,放射线设施,核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。
型号 | TG1100F | TG1100F*A*-60/TG1100F*W* | |
吸气口法兰 | VG200/ISO-B200/CF200 | ||
排气速度 | N2 (L/s) | 1100 | |
N2(附带金属保护网) (L/s) | 1000 | ||
H2 (L/s) | 720 | ||
最大压缩比 | N2 | 1×108 | |
H2 | 1×104 | ||
极限压力 | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
最大气体流量※1※2 | (sccm) | 330 | 860 |
启动时间※2 | (min) | 7-9 | 5.5-7 |
停止时间※2 | (min) | 27-32 | 12-15 |
允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 330/2.5 | |
推荐辅助泵 | (L/min) | ≧250 | |
安装角度 | 任意 | ||
重量 | VG・ISO-B/CF(kg) | 28/27 | |
控制器型号 | TC1104 | TC1103※3 |
※1:辅助泵的容量是500L/min情况下的最大容许流量
※2:电源型号不同的话规格也不同。(标准:TC1104)
※3:空冷需要更换空冷风扇(TG800F***-60)
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
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