PVD专用日本ULVAC爱发科 LR300 多级罗茨型干泵
PVD专用日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

PVD专用日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

PVD专用日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

日本ULVAC爱发科LR300与LR60、LR90同属多级罗茨型干泵系列，因此核心工作原理一致，都是利用多级三叶罗茨转子在无油、无接触的状态下，对气体进行逐级压缩和输送，最终排出泵外。

⚙️ 核心工作原理：无油干式与多级压缩

1. 核心部件：三叶罗茨转子：泵的核心是泵腔内一对三叶罗茨转子。这对转子通过精密齿轮同步，以相反方向高速旋转，且相互之间、与腔体之间始终保持微米级的间隙，绝不接触。这种无接触设计是获得清洁真空、避免油污染的关键。

2. 工作过程：吸入、封闭与排出：随着转子旋转，转子间及转子与腔体间的容积会周期性变化，实现气体的吸入、封闭、压缩和排出，完成泵送循环。

3. 实现高真空：多级结构：LR300是“多级"泵，内部集成了多个压缩级。气体从前一级排出后，会直接进入下一级被继续压缩。通过这种逐级增压的方式，最终能将气体压力提升到高于大气压并排出，从而在入口处获得高真空。

💡 LR300的关键技术与特点

作为LR系列的一员，LR300也集成了多项核心技术，以确保其在严苛工艺中的稳定性和高效性：

• 低温区域均热化：LR系列专为较低温工况设计。它通过独特的铝制结构和高温均热技术，使泵体温度非常均匀。这能有效利用自身的压缩热来维持稳定，非常适用于对温度敏感的PVD（物理气相沉积）等工艺。

• 出色的密封与安全性：采用屏蔽电动机（Canned motor） 形成全密闭结构，实现氦气级密封，杜绝了有害气体泄漏的风险。

• 环境适应性：

• 瞬停对策：具备应对1000毫秒（1秒）以内电源中断的能力。

• 耐腐蚀性：主要部件经过特殊的表面处理，能有效抵御腐蚀性气体。

• 智能监控与节能：支持数据通信，可远程监控运行状态。在轻载工艺中，结合ECO-SHOCK附件，可大幅降低功耗。

🎯 主要应用场景

基于其工作原理和特点，LR300主要用于：

• 薄膜制备：作为溅射、蒸镀等PVD成膜装置的主抽泵。

• 快速抽空：用于半导体产线上的备料室、下料室（Load Lock Chamber），以缩短抽气时间、提高产能。

• 辅助排气：作为涡轮分子泵或机械增压泵的前级泵（Backing Pump）。

⚙️ LR300 核心参数速览

与LR60和LR90相比，LR300拥有显著更大的排气速度和功率。

总的来说，LR300作为LR系列中的大排量型号，通过“无接触的多级罗茨转子"实现清洁真空，并凭借“低温均热技术"等核心设计，在PVD等对温度和洁净度要求高的工艺中提供稳定、高效的真空环境。