原厂进口日本ULVAC爱发科 LR60 多级罗茨型干泵
原厂进口日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

原厂进口日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

原厂进口日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

ULVAC爱发科LR60是一款多级罗茨型干式真空泵。它的核心工作原理，是利用多级三叶罗茨转子在无油、无接触的状态下，对气体进行逐级压缩和输送，直至排出泵外。

⚙️ 核心工作原理：无接触的转子与多级压缩

1. 核心部件：三叶罗茨转子：泵的核心是壳体内的一对三叶罗茨转子。这对转子通过精密齿轮同步，以相反方向高速旋转，且相互之间、与壳体之间始终保持微米级的间隙，绝不接触。这种无接触设计是干式泵获得清洁真空的关键。

2. 工作过程：吸入、封闭与排出：转子旋转时，转子间及转子与壳体间的容积会周期性变化，从而实现气体的吸入、封闭、压缩和排出，完成一次“泵送"循环。

3. 实现高真空：多级结构：LR60是“多级"泵，内部集成了多个压缩级。气体从前一级排出后，直接进入下一级被继续压缩。通过这种逐级增压的方式，最终能将气体压力提升到高于大气压并排出，从而在入口处获得低至5.0 Pa的高真空。

💡 关键技术特点

• 低温区域均热化：LR60专为较低温工况设计，通过独特的铝制结构和高温均热技术，使泵体温度均匀。这能有效利用自身压缩热维持稳定，非常适合对温度敏感的PVD（物理气相沉积）等工艺。

• 出色的密封与安全性：采用屏蔽电动机（Canned motor） 形成全密闭结构，实现氦气级密封，杜绝了有害气体泄漏的风险。

• 环境适应性：

• 瞬停对策：具备应对1000毫秒（1秒）以内电源中断的能力。

• 耐腐蚀性：主要部件经过特殊表面处理，能有效抵御腐蚀性气体。

• 智能监控与节能：支持数据通信，可远程监控运行状态。在轻载工艺中，结合ECO-SHOCK附件，功耗最高可降低约80%。

🎯 主要应用场景

基于其工作原理和特点，LR60主要用于：

• 薄膜制备：作为溅射、蒸镀等PVD成膜装置的主抽泵。

• 快速抽空：用于半导体产线上的备料室、下料室（Load Lock Chamber），以缩短抽气时间、提高产能。

• 辅助排气：作为涡轮分子泵或机械增压泵的前级泵（Backing Pump）。

⚙️ LR60 核心参数速览

总的来说，LR60通过“无接触的多级罗茨转子"实现清洁的真空环境，并通过“低温均热技术"保证在特定工艺下的稳定与高效。