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OsakaVacuum日本大阪真空高性能涡轮分子泵
简要描述:

OsakaVacuum日本大阪真空TG800F高性能涡轮分子泵
OsakaVacuum日本大阪真空高性能涡轮分子泵

特点:
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

  • 产品型号:TG800F
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-04-19
  • 访  问  量:96

详细介绍

OsakaVacuum日本大阪真空高性能涡轮分子泵

OsakaVacuum日本大阪真空高性能涡轮分子泵


  • 轻巧设计

  • 节能

  • 迅速启动

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大气冲击能力强
    经400次大气冲击验证

  • 多种通信模式

  • 符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半导体制造

  • 电子枪排气,离子源排气

  • FPD制造

  • 表面处理,表面改质

  • 各种电子部件的制造

  • 分析,试验装置

  • 管球制造,光学部件制造

  • 加速器,放射线设施,核聚变研究

  • 热处理

  • 研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。


型号TG800FTG800F*A*-60/TG800F*W*
吸气口法兰 VG150/ISO-B160/CF160
排气速度N2 (L/s)820
N2(附带金属保护网) (L/s)750
H2 (L/s)650
最大压缩比N21×108
H21×104
极限压力(Pa/Torr)<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1※2(sccm)330860
启动时间※2(min) 7-95.5-7
停止时间※2(min) 27-3212-15
允许辅助压力(Pa/Torr)330/2.5
推荐辅助泵(L/min)≧250
安装角度自在
重量VG・ISO-B/CF(kg) 27/26
控制器型号TC1104TC1103※3

※1:辅助泵的容量是500L/min情况下的最大容许流量
※2:电源型号不同的话规格也不同。(标准:TC1104)
※3:空冷需要更换空冷风扇(TG800F***-60)

[ 使用环境温度 ]

极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。

[ 对应气体种类 ]

由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。





















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