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Osaka大阪真空高性能全新复合涡轮分子泵
简要描述：

Osaka大阪真空TG450F高性能全新复合涡轮分子泵
Osaka大阪真空高性能全新复合涡轮分子泵

特点：
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

  • 产品型号：TG450F
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2025-04-19
  • 访  问  量：78
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Osaka大阪真空高性能全新复合涡轮分子泵

Osaka大阪真空高性能全新复合涡轮分子泵


  • 轻巧设计

  • 节能

  • 迅速启动

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大气冲击能力强
    经400次大气冲击验证

  • 多种通信模式

  • 符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半导体制造

  • 电子枪排气，离子源排气

  • FPD制造

  • 表面处理，表面改质

  • 各种电子部件的制造

  • 分析，试验装置

  • 管球制造，光学部件制造

  • 加速器，放射线设施，核聚变研究

  • 热处理

  • 研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。

吸气口法兰VG150
CF160
ISO-R160
排气速度N2(L/s)450
N2(附加金属保护网) (L/s)430
H2(L/s)240
最大压缩比N21×108
H22×103
极限压力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1N2 (sccm)500
启动时间(min) 2-2.5
停止时间(min)5-6.5
允许辅助压力(Pa/Torr)260/2
推荐辅助泵(L/min)≧80
安装角度自在
重量VG･ISO-B/CF(kg)7/10





















※1：辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量

[ 使用环境温度 ]

极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。

[ 对应气体种类 ]

由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。


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