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详细介绍
Osaka大阪真空高性能进口小巧涡轮分子泵
Osaka大阪真空高性能进口小巧涡轮分子泵
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
经400次大气冲击验证
多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半导体制造
电子枪排气,离子源排气
FPD制造
表面处理,表面改质
各种电子部件的制造
分析,试验装置
管球制造,光学部件制造
加速器,放射线设施,核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。
吸气口法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 | |
排气速度 | VG/ISO-R・CF N2 (L/s) | 350/330 |
VG/ISO-R・CF N2(附加金属保护网) (L/s) | 330/310 | |
VG/ISO-R・CF H2 (L/s) | 210 | |
最大压缩比 | N2 | 1×108 |
H2 | 2×103 | |
极限压力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
最大气体流量※1 | N2 (sccm) | 500 |
启动时间 | (min) | 2-2.5 |
停止时间 | (min) | 5-6.5 |
允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
推荐辅助泵 | (L/min) | ≧80 |
安装角度 | 任意 | |
重量 | VG・ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
※1:辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
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