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Osaka大阪真空高性能进口轻型涡轮分子泵
简要描述:

Osaka大阪真空TG240F高性能进口轻型涡轮分子泵
Osaka大阪真空高性能进口轻型涡轮分子泵

特点:
高H2压缩比
在高背压的情况下也可以连续运转,排气性能安定
将电源控制器与分子泵一体化
360度任意角度安装
耐振动,可移动正在运转的真空泵

  • 产品型号:TG240F
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-04-19
  • 访  问  量:75

详细介绍

Osaka大阪真空高性能进口轻型涡轮分子泵

Osaka大阪真空高性能进口轻型涡轮分子泵


  • 轻巧设计

  • 节能

  • 迅速启动

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大气冲击能力强
    经400次大气冲击验证

  • 多种通信模式

  • 符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半导体制造

  • 电子枪排气,离子源排气

  • FPD制造

  • 表面处理,表面改质

  • 各种电子部件的制造

  • 分析,试验装置

  • 管球制造,光学部件制造

  • 加速器,放射线设施,核聚变研究

  • 热处理

  • 研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。



型号TG240F
吸气口法兰 CF100/ISO-R100
排气速度N2 (L/s)240
N2(附带保护金属网) (L/s)230
H2 (L/s)160
最大压缩比N21×108
H24×104
极限压力ISO-R(Pa/Torr)<1×10-6/<7.5×10-9
CF(Pa/Torr)<5×10-7/<3.8×10-9
最大气体流量※1N2 (sccm)70
启动时间(min) 5.5-6
允许辅助压力(Pa/Torr)700/5.3
推荐辅助泵(L/min)≧80
安装角度任意
重量ISO-R/CF(kg) 7.3/10.5
控制器型号TC245(一体型)※2
输入电压(V)DC24V
所需最大电力(W)75W

※1:辅助泵的容量是80L/min情况下的最大容许流量
※2:可选择泵和控制器一体型(TC245)或者是分离式型(TC246)

[ 对应气体种类 ]

由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

[ 使用环境温度 ]

极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度是8~38℃






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