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详细介绍
Osaka大阪真空高性能进口轻型涡轮分子泵
Osaka大阪真空高性能进口轻型涡轮分子泵
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
经400次大气冲击验证
多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半导体制造
电子枪排气,离子源排气
FPD制造
表面处理,表面改质
各种电子部件的制造
分析,试验装置
管球制造,光学部件制造
加速器,放射线设施,核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。
型号 | TG240F | |
吸气口法兰 | CF100/ISO-R100 | |
排气速度 | N2 (L/s) | 240 |
N2(附带保护金属网) (L/s) | 230 | |
H2 (L/s) | 160 | |
最大压缩比 | N2 | 1×108 |
H2 | 4×104 | |
极限压力 | ISO-R(Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
CF(Pa/Torr) | <5×10-7/<3.8×10-9 | |
最大气体流量※1 | N2 (sccm) | 70 |
启动时间 | (min) | 5.5-6 |
允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 700/5.3 |
推荐辅助泵 | (L/min) | ≧80 |
安装角度 | 任意 | |
重量 | ISO-R/CF(kg) | 7.3/10.5 |
控制器型号 | TC245(一体型)※2 | |
输入电压(V) | DC24V | |
所需最大电力(W) | 75W |
※1:辅助泵的容量是80L/min情况下的最大容许流量
※2:可选择泵和控制器一体型(TC245)或者是分离式型(TC246)
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度是8~38℃
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