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详细介绍
Osaka大阪真空 日本原装 罗茨真空泵
Osaka大阪真空 日本原装 罗茨真空泵
■旋转轴强度高
→可低真空条件下起动及连续运转
■可根据负荷条件选择电机
→通过高效的操作降低设备成本
■节能
→产品可对应90~12000 m3/ h的需求
■可与多种辅助泵进行搭配
→罗茨+滑阀・液环真空泵
■根据皮带驱动实现大量排气
■适用于大腔体的排气
■选择旁通阀(可选)可实现在高压强下发挥最大的排气能力
■根据工艺不同可提供适当的组合
用途
・半导体、FPD
・真空镀膜
・金属、钢铁、产业机器
・医疗、化学、医药品、食品
・研究开发
规格
吸气口法兰 | 400A JIS10KFF | |
额定排气速度※1 (m3/h) | 50Hz | 12000 |
60Hz | 12000 | |
容许压力差 [使用标准电机时] (kPa) | 50Hz | 4.0 |
60Hz | 4.0 | |
极限压力 (Pa) | 单级滑阀泵为前级时 | 7×10-2 |
双极滑阀泵为前级时 | 1.3×10-2 | |
前级泵的基本排气速度 (m3/h) | 900~1200 | |
转速 (r/min) | 50Hz | 1030 |
60Hz | 1030 | |
标准电机功率 (kW) | 22 | |
油量 (L) | 5.9 | |
冷却水量※2 (m3/h) | 1.5 | |
重量 (kg) | 附带全封闭式风扇外置型电机 | 3030 |
无电机 | 2800 |
※1:实际排气速度根据使用的前级泵不同会有所变化,详细请咨询我司销售人员。
※2:冷却水最高温度以30度为基准。
容许的环境温度:运行时为+10℃~+40℃、保管时为-5℃~+60℃。
请将水排净,以防保管真空泵时产生冻裂。
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