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日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机
简要描述:

日本ULVAC爱发科SOPHI-200/260半导体中电流离子注入机
日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机

  • 产品型号:SOPHI-200/260
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-11-25
  • 访  问  量:74

详细介绍

日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机

日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机


中电流离子注入机SOPHI-200/260

中电流离子注入机SOPHI-200/260是一款配备技术的8、6和5英寸离子注入机。我们正在接受抽样。


特征

  • 配备技术的平行束离子注入机。
    价格低,运行成本低,
    小型、轻量、
    超薄晶圆可直接转移。

目的

  • 半导体、电子元件

  • 功率器件薄基板工艺、SiC工艺

  • 研发

规格

物品索菲-200SOPHI-260
能量范围3~200keV3~260keV
光束平行度0.2°以下
均匀性0.5%以下








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