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日本ULVAC爱发科半导体SiC 高温离子注入机
简要描述:

日本ULVAC爱发科IH-860PSIC半导体SiC 高温离子注入机
日本ULVAC爱发科半导体SiC 高温离子注入机

  • 产品型号:IH-860PSIC
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-11-25
  • 访  问  量:90

详细介绍

日本ULVAC爱发科半导体SiC 高温离子注入机

日本ULVAC爱发科半导体SiC 高温离子注入机


SiC 高温离子注入机IH-860PSIC

这是配备高温ESC的用于SiC量产的高能离子注入机。



特征

  • 可自动连续高温处理注入

  • 可注入高达 350keV 的单价离子和 700keV 的双电荷离子
    (可选支持高达 430keV 的单价离子和 860keV 的双电荷离子)

  • 双端站实现高吞吐量
    (A系统4"高温电调/B系统3"高温电调、A系统6"高温电调/B系统6"常温电调等,规格可根据客户需求订做愿望)

  • 可进行链条注射,减轻操作员负担

  • 紧凑型设计

  • 从原型到批量生产,我们提供广泛的支持。

目的

  • SiC用离子注入机

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