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HOBIBA堀场玉科全新自动范围切换浓度监测器
简要描述:

HOBIBA堀场HF-960EM玉科全新自动范围切换浓度监测器
HOBIBA堀场玉科全新自动范围切换浓度监测器

  • 产品型号:HF-960EM
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-12
  • 访  问  量:156

详细介绍

HOBIBA堀场玉科全新自动范围切换浓度监测器

HOBIBA堀场玉科全新自动范围切换浓度监测器


在线传感器和自动范围切换浓度监测器

HF-960EM 系列

符合半导体工艺卫生标准的氢氟酸浓度监测仪。

传感器与 PFA(全氟烷氧基)接液部件相结合,尺寸优化到绝对极限。它还可以处理高达 50% HF 浓度的大范围测量,符合半导体工艺的卫生要求。

宽范围兼容

从低浓度到高浓度(高达 50% HF 浓度)的自动量程功能可在每个目标浓度下实现最佳测量性能。

无污染

采用具有卫生结构的传感器,仅使用 PFA 作为接液材料。作为一种耐化学腐蚀的传感器,它能够测量半导体工艺中使用的各种化学品。

高稳定性/再现性精度

它实现了 ±0.5% FS 的重现精度。

HF-960EM 规格
型号名称HF-960EM 系列
测量范围HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 电导率: 0 - 2000 mS/cm
重复性+/- 0.5% F.S.(等效输入)
线性+/- 0.5% F.S.(等效输入)
传输输出输出数量:4
触点输出输出:5 点
通信输出RS-485 系列
电源直流 24 伏 +/- 10% 15W
兼容的传感器CM-520 系列
传感器的接液材料PFA 系列


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