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详细介绍
HOBIBA堀场玉科全新自动范围切换浓度监测器
HOBIBA堀场玉科全新自动范围切换浓度监测器
在线传感器和自动范围切换浓度监测器
传感器与 PFA(全氟烷氧基)接液部件相结合,尺寸优化到绝对极限。它还可以处理高达 50% HF 浓度的大范围测量,符合半导体工艺的卫生要求。
宽范围兼容
从低浓度到高浓度(高达 50% HF 浓度)的自动量程功能可在每个目标浓度下实现最佳测量性能。
无污染
采用具有卫生结构的传感器,仅使用 PFA 作为接液材料。作为一种耐化学腐蚀的传感器,它能够测量半导体工艺中使用的各种化学品。
高稳定性/再现性精度
它实现了 ±0.5% FS 的重现精度。
| 型号名称 | HF-960EM 系列 |
|---|---|
| 测量范围 | HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 电导率: 0 - 2000 mS/cm |
| 重复性 | +/- 0.5% F.S.(等效输入) |
| 线性 | +/- 0.5% F.S.(等效输入) |
| 传输输出 | 输出数量:4 |
| 触点输出 | 输出:5 点 |
| 通信输出 | RS-485 系列 |
| 电源 | 直流 24 伏 +/- 10% 15W |
| 兼容的传感器 | CM-520 系列 |
| 传感器的接液材料 | PFA 系列 |
产品咨询