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详细介绍
HOBIBA堀场玉科全新高精度 TMAH 浓度监测仪
HOBIBA堀场玉科全新高精度 TMAH 浓度监测仪
高精度 TMAH 浓度监测仪
具有高度耐化学性的碳传感器,可以高精度测量 TMAH 浓度,这是光刻胶显影解决方案的主要组成部分。
高精度
浓度:0–3%,电导率:0–1000 mS/cm,重复性:能够测量 ±0.003wt% 以内的 TMAH 浓度
显示范围自动切换
显示范围从高浓度自动切换到低浓度。此外,还可以在保持有效电导率分辨率的同时监测变化。
3 次测量
能够进行三种测量,即 TMAH 浓度、电导率和温度。
型号名称 | HE-960H-TM-S 系列 |
---|---|
测量对象 | 四甲基氢氧化氢 |
测量范围 | 浓度:0 - 3%,电导率:0 - 1000 mS/cm |
重复性 | +/- 0.003wt% 以内(温度变化小于 +/- 0.5°C,使用等效电导率输入) |
线性 | +/- 0.003wt% 以内(使用等效电导率输入) |
传输输出 | 输出数量:4 |
触点输出 | 输出:5 点 |
通信输出 | RS-485 系列 |
电源 | 24V 直流 +/- 10% 10W |
兼容的传感器 | FES-510 系列 |
传感器的接液材料 | GC、PFA、Karletz® |
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