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详细介绍
HORIBA堀场全新混合注入系统液体汽化器
HORIBA堀场全新混合注入系统液体汽化器
MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法,即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k"工艺液体在内的一系列液体源的汽化。
模型 | MV-2000 |
---|---|
液体材料 | 除腐蚀不锈钢的液体(例如 HCl、HF)之外的所有液体 |
设定温度 | 按汽化条件(控制阀:最高140 ˚C 汽化器:最高200 ˚C) |
泄漏完整性 | ≤1×10-8Pa·m3/s(He) |
内漏标准 | ≤1×10-6 Pa·m3/s(He) |
接触液体的部件 | 不锈钢316L |
温度传感器 | K 型热电偶 (CA) |
耐压性 | 1兆帕(气压) |
标准配件 | 液体入口:1/8 VCR 型外螺纹 载气入口:1/4 VCR 型内螺纹 气体出口:1/2 VCR 型外螺纹 |
工作温度 | 15 - 50 摄氏度 |
选项 | 气阀(内漏标准:≤1×10-9 Pa·m3/s(He)) |
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