全国服务咨询热线:

192-7009-5986

当前位置:首页  >  产品中心  >  HOROBIBA  >  混合注入系统液体汽化器  >  MV-2000HORIBA堀场全新混合注入系统液体汽化器

HORIBA堀场全新混合注入系统液体汽化器
简要描述:

HORIBA堀场全新MV-2000混合注入系统液体汽化器
HORIBA堀场全新混合注入系统液体汽化器

  • 产品型号:MV-2000
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-19
  • 访  问  量:148

详细介绍

HORIBA堀场全新混合注入系统液体汽化器

HORIBA堀场全新混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法,即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k"工艺液体在内的一系列液体源的汽化。

模型MV-2000
液体材料除腐蚀不锈钢的液体(例如 HCl、HF)之外的所有液体
设定温度按汽化条件(控制阀:最高140 ˚C 汽化器:最高200 ˚C)
泄漏完整性≤1×10-8Pa·m3/s(He)
内漏标准≤1×10-6 Pa·m3/s(He)
接触液体的部件不锈钢316L
温度传感器K 型热电偶 (CA)
耐压性1兆帕(气压)
标准配件液体入口:1/8 VCR 型外螺纹 载气入口:1/4 VCR 型内螺纹 气体出口:1/2 VCR 型外螺纹
工作温度15 - 50 摄氏度
选项气阀(内漏标准:≤1×10-9 Pa·m3/s(He))

HORIBA堀场全新混合注入系统液体汽化器

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

全国统一服务电话

19270095986

电子邮箱:209023083@qq.com

公司地址:龙华街道龙华大道906号电商集团7层

扫码加微信