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HORIBA堀场半导体紧凑型汽化系统玉科供应
简要描述:

HORIBA堀场VC-1420半导体紧凑型汽化系统玉科供应
HORIBA堀场半导体紧凑型汽化系统玉科供应

  • 产品型号:VC-1420
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-02-19
  • 访  问  量:133

详细介绍

HORIBA堀场半导体紧凑型汽化系统玉科供应

HORIBA堀场半导体紧凑型汽化系统玉科供应

VC 系列


直接液体注入系统

VC 系列能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源,组建更紧凑的汽化系统。

HORIBA 可为您提供由 VC 系列和您需要的所有其他组件组成的定制汽化系统:

  • 一种用于流量测量的液体质量流量计

  • 一种用于蒸气流量测量的高温质量流量控制器

  • 阀门、过滤器、加热器等


  • 尺寸紧凑

  • 可安装在各种位置

  • 畅销的 TEOS 汽化系统

  • 结合 SEF 或 LF,可实现数字控制

  • 无需特殊鼓泡罐或汽化罐

  • DeviceNetTM 型产品系列

  • 符合 RoHS 标准

模型

VC-1420



生成流量*1(TEOS生成时)

最大5.0 CCM转化率(液相转化率)



支持液体

 工作,P(OCH3)3,C6F6



温度上升

 最高150℃



产生的压力*1

 减压



外部泄漏完整性

 1.0×10-8帕·立方米/秒



内部泄漏完整性

 1.0×10-6帕·立方米/秒



接触液体的材质

316L 不锈钢(抛光表面)



内部加热器容量

 交流 100V 至 120V 70W(35Wx2)



使用的温度传感器

K型热电偶(CA)



耐压性

 1.0MPa(气压)



 标准配件

 液体入口:1/8 英寸 VCR 型外螺纹 气体出口:1/4 英寸 VCR 型内螺纹



*1 根据液体的种类而变化。



*CCM 是表示气体流速(25°C、101.3 kPa 时 mL/min)的符号。


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